單顆粒模式ICP-MS（SP-ICP-MS）是分析金屬納米粒子的有前途的技術之一。由于具有測量可溶分析物濃度和單個納米粒子， ICP-MS是一種用于分析半導體工業領域中各種分析物的理想儀器。本工作展示了如何利用單顆粒模式NexION 2000 ICP-MS成功表征兩種類型的元素氧化納米粒子尺寸的平均值和中位值，顆粒濃度，尺寸分布和顆粒尺寸的累積百分數。
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