真空泵軸承分為徑向軸承和推力軸承，軸承均為強制壓力油潤滑。

輕載荷推力軸承一般設計成雙面作用的，即工作面平衡參與軸向力，非工作面承受巡檢軸向力并使轉子軸向定位。推力軸承采用雙作用可傾瓦式。一般按承載對打軸向力的25%設計，即便真空泵在啟動巡檢，聯軸器還會傳遞少量軸向力，推力軸承均可適應軸向力的大小和防線的變化，抱枕被真空泵的穩定運行。

徑向軸承采用四油楔形式，也有此阿勇三油楔，雙油楔形式。國外也有采用可傾瓦徑向軸承，起作用是增大阻尼降低低頻激振。目前在美國和歐洲一些國家已經開始試驗，在大型多級給水泵采用電磁軸承。在真空泵高速運轉的使用中，其優點在于大大間隙真空泵的軸向尺寸，增加軸的剛度、提高可靠性。是輔助系統如潤滑油、密封系統更為簡單。同時降低整體造價，減少安裝費用，提高真空泵效率。