PM6型精密研磨拋光系統是英國Logitech公司推向市場,應用于眾多半導體領域的自動型研磨拋光系統。PM6投入市場后被很多專業用戶普遍應用,受到廣泛贊譽,其中不乏從事有線電視寬帶(CATV)、光纖到戶(FTH)及互聯網數據等光纖產品及服務的供應商。
近年,隨著網絡進一步普及寬帶市場持續增長,對核心光纖生產技術提出更高要求。晶圓加工處理技術作為光纖產品線的重要生產工藝,不僅需要在提高生產能力上不斷突破,更要在產品質量上達到非常高的技術標準。這對生產用戶在技術指標、產能等方面提出了非常嚴苛的要求。Logitech公司推出新一代PM6型精密研磨拋光系統,為廣大光纖生產商提供的產品技術解決方案。
PM6型精密研磨拋光系統為單個工作頭的臺式機型,加工后樣品可實現高度一致性,同時也能達到高標準的表面光潔度。自動化的晶圓處理方式,嚴格控制樣品加工處理結果,為達到高質量要求的大批量生產帶來便利。已有生產商采用PM6型精密研磨拋光系統批量加工4” InP晶圓,樣品面型TTV<2μm,加工過程和zui終結果均嚴格可控。
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