瑞士INFICON隔膜真空計*清倉
INFICON隔膜真空計CDG045D2是一種高精度真空測量儀器,專為惡劣的制造環(huán)境而設計。經(jīng)過驗證的溫控,耐腐蝕,超純陶瓷傳感器可在多年內(nèi)提供的跨度穩(wěn)定性,并具有*的零穩(wěn)定性。Edge附帶INFICON*傳感器屏蔽,可保護儀表免受不良過程副產(chǎn)品的影響。*電子元件為所有應用和可選的EtherCAT現(xiàn)場總線接口提供廣泛的可配置信號調(diào)理。創(chuàng)新的加熱概念使觸摸表面更加涼爽,節(jié)省了寶貴的工具空間。INFICON Edge是同類產(chǎn)品中小的真空測量儀器。
瑞士INFICON隔膜真空計是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測量壓強的真空計,其基本原理如圖1所示。電容式隔膜真空計內(nèi)部有兩個空間,隔膜右側(cè)連接真空,左側(cè)的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。如果p2 <p1,則隔膜就如圖1所示向右側(cè)變形;反之,就向左側(cè)變形。隔膜和電極之間處于絕緣狀態(tài),兩者之間的距離隨p2 的變化而改變,從而引起其間的電容變化。反過來,通過測量隔膜和電極之間的電容,就可知隔膜的變形量,繼而推算出壓強。
p1 和p2之間的壓強差很小時,隔膜的變形也很小,要地測量真空度,需要隔膜更薄??墒?,如果兩側(cè)壓強差很大,則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損。通常情況下,為了防止隔膜過度變形,在電極和隔膜之間施加直流電壓,通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值,即可知壓強,這種真空計被稱為單電容隔膜真空計。在隔膜兩側(cè)分別設置電極而實現(xiàn)的差動式雙電容隔膜真空計,進一步提高了測量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕,也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。電容式隔膜真空計測量的真空度與氣體成分無關,反應快、重復性高,非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。
可以*替代美國MKS的真空計。MKS真空計是美國原廠原裝,因為此產(chǎn)品大部分使用在方面,再加上中美貿(mào)易戰(zhàn)的影響,美方政府限制MKS的真空計進口到中國,所以之前很多使用美國MKS真空計的用戶們感到非常頭疼,我司了解到了這樣的情況后,讓我司工程師徐工找了很多品牌的真空計試圖替代美國MKS真空計,反復試驗了很多次之后,終于找出了一款可以*替代美國MKS真空計的產(chǎn)品,它就是瑞士INFICON,以上就是我為大家講解的瑞士INFICON其中一款真空計的原理及用途!
瑞士INFICON隔膜真空計*清倉
詳細介紹
特點:
緊湊,節(jié)省寶貴的工具空間
易于集成,EtherCAT,各種滿量程和法蘭,標準有兩個設定點
輕松一鍵式或遠程信號零點命令,零點偏移可調(diào)
診斷端口,用于快速維護和維護
兩年保修,更長的使用壽命,*加熱概念和儀表保護
即使在惡劣的等離子應用中,由于出色的信號穩(wěn)定性和可重復性,也無需長期重新校準
合規(guī)性和標準:CE,EN,UL,SEMI,RoHS
典型應用
CVD,蝕刻,PVD和其他半導體生產(chǎn)工藝
產(chǎn)品規(guī)格
類型 1000托,1100毫巴 500 ... 1 Torr / mbar
準確度(1) 讀數(shù)百分比 0.15 0.15
溫度效應
零 %FS /°C 0.0025 0.0025
在跨度上 讀數(shù)%/°C 0.01 0.01
壓力,大 kPa(值) 400 260
解析度 百分比FS 0.003 0.003
讀數(shù)低 百分比FS 0.01 0.01
建議讀數(shù)低 百分比FS 0.05 0.05
建議的低控制壓力 百分比FS 0.5 0.5
溫度
傳感器 ℃下 45 45
操作(環(huán)境) ℃下 +10 ... +40 +10 ... +40
法蘭烘烤 ℃下 ≤110 ≤110
存儲 ℃下 -20 ... +65 -20 ... +65
電源電壓 +14 ... +30 VDC或±15 V(±5%) +14 ... +30 VDC或±15 V(±5%)
能量消耗
在加熱期間 w ^ ≤15 ≤15
在工作溫度下 w ^ ≤10 ≤10
輸出信號(模擬) V(直流) 0 ... +10 0 ... +10
回復時間(2) 女士 三十 三十
防護等級 IP 40 IP 40
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