SMC雙深冷器高性能變頻型HRZD系列
1臺深冷器可分別控制2個系統。
雙變頻器：DC變頻冷凍機與變頻泵實現了大幅節能。
省空間：設置面積減小23％。
省配線、省空間、省工時：電源線纜只有1根，冷卻水配管僅有1個系統。
符合SEMI規格、CE標識。
設定溫度范圍：－30～90℃
冷卻能力：9.5kW×2
溫度穩定性：±0.1℃。
冷卻方式：水冷冷凍式
循環液：氟化液、乙二醇水溶液（60％）

型號：
HRZD020-WS-WS 
HRZ001-L
HRZ002-L
HRZ004-L
HRZ008-L
HRZ001-H
HRZ002-H
HRZ004-H
HRZ008-H
HRZ002-W
HRZ008-W
HRZ010-WS
HRZ010-W1S
HRZ010-W2S
HRR012-A
HRR018-A
HRR024-A
HRR030-A
HRR012-W
HRR018-W
HRR024-W
HRR030-W
HRL100-A-20
HRL200-A-20
HRL300-A-20