ICP光譜法是上世紀60年代提出、70年代迅速發展起來的一種分析方法。目前ICP光譜儀主要分為多道型、單道掃描型以及全譜直讀型，其中多道型和單道掃描型代表的是80年代的技術水平，它們以光電倍增管為檢測器，技術上非常成熟，但也較落后，其中多道型已幾乎退出歷史舞臺，單道掃描型以其合適的價格和靈活方便仍占有一定的*。全譜直讀型儀器經近十年的不斷完善和發展，目前已成為ICP光譜儀的主流。

根據不同的應用領域，ICP光譜儀又有垂直觀測、水平觀測和雙向觀測之分，其中垂直觀測型儀器主要適用于基體較為復雜的冶金、地礦、有色金屬等領域；水平觀測型儀器適用于基體較為簡單的水質、環保、食品衛生等領域；雙向觀測型儀器實際上是以水平觀測為主附加垂直觀測的儀器，它的應用范圍仍是基體較為簡單的領域，雙向觀測能彌補水平觀測中所存在的易電離干擾、線性范圍變窄等一些缺陷。