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日本用于半導(dǎo)體行業(yè)的高精度非接觸式測(cè)厚儀OZUMA22

來(lái)源:秋山科技(東莞)有限公司   2021年04月15日 10:42  

日本用于半導(dǎo)體行業(yè)的高精度非接觸式測(cè)厚儀OZUMA22

<用途>

半導(dǎo)體(各種材料)的晶片硅Si.GaAs砷化鎵等,玻璃,金屬,化合物等的高精度非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)

<功能>

1. 1。可以通過(guò)空氣背壓法進(jìn)行非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量),并且不會(huì)造成刮擦和污染等損壞
可以輕松進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量),而無(wú)需依賴諸如薄膜和彩色光澤之類的材料
潮濕時(shí)可以進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
即使鏡面透明或半透明,也可以毫無(wú)問(wèn)題地進(jìn)行高精度的非接觸式厚度測(cè)量(非接觸式厚度測(cè)量)
由于使用上下測(cè)量噴嘴進(jìn)行測(cè)量,因此
   可以精que地測(cè)量“厚度”,不受測(cè)量對(duì)象“打滑”引起的提升的影響。
  (也可以選擇“滑行”測(cè)量(* 1))
6。由于操作簡(jiǎn)便,因此可以非常輕松地進(jìn)行測(cè)量和校準(zhǔn)(* 2)。

<測(cè)量原理>

精que控制上下測(cè)量噴嘴的背壓,對(duì)噴嘴進(jìn)行定位,使噴嘴和被測(cè)物體之間的間隙保持恒定,并使用預(yù)先用基準(zhǔn)量規(guī)校準(zhǔn)的值進(jìn)行比較計(jì)算處理。可以對(duì)被測(cè)物進(jìn)行測(cè)量操作,可以精que地計(jì)算出厚度。

<性能>

  分辨率0.1μm
  重復(fù)精度10次重復(fù)測(cè)量時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差(1σ)0.3μm以下
  。最大測(cè)量范圍。10mm(* 3)
  供應(yīng)能源電源AC100V 50 / 60Hz 3A
            清潔空氣0.4MPa 20NL /分鐘(* 4)

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