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ICP-MS應用于環境領域有著廣泛的應用，因為它不僅可以測定全部金屬元素的濃度，還可以給出同位素的信息。ICP-MS主要由進樣系統、射頻（RF）發生器、動態反應池系統、四極桿質量分析器系統、檢測器和軟件等部分組成。
ICP-MS可以分析元素周期表中所有金屬元素，檢出限在1ppt以下。同時可以分析絕大部分非金屬元素，例如As、Se、P、S、Si、Te等，檢出限低于1ppb，如果配合使用氫化物發生器，這些非金屬的檢出限可以改善10倍以上。
ICP-MS可以分析元素周期表中所有金屬元素，檢出限在1ppt以下。同時可以分析絕大部分非金屬元素，例如As、Se、P、S、Si、Te等，檢出限低于1ppb，如果配合使用氫化物發生器，這些非金屬的檢出限可以改善10倍以上。
ICP-MS的發展與ICP-OES有很多相似之處，在進樣系統部分幾乎是一樣的。目前ICP-MS較引人注目的發展是動態反應池技術。動態反應池（DRC）是內有一個四極桿系統的反應池。與中階梯分光ICP-OES相似，DRC-ICP-MS具有雙四極桿質量分析器，即ICP-MS-MS，DRC部分進行化學反應并與主四極桿同步掃描實現離子初步選擇和過濾，大大延長了ICP-MS主四級桿質量分析器的壽命，提高了ICP-MS的性能和靈活度。
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