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CTR100N萊寶真空計說明

來源:東莞市鴻鑫真空設備有限公司   2021年06月07日 11:18  

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此真空變送器提供四 (4) 位十進制測量范圍,并基于薄膜與固定電極之間的電容進行測量。不論處理氣體成分如何,其輸出均相同 – 無需氣體校正系數。
它的應用非常廣泛,可用作獨立設備或與合適的控制設備配合使用。CTR 100 N 變送器的主要通信方式是其 0 – 10 伏直流模擬輸出信號。此輸出可連接至外部模擬設備,獲取壓力讀數,或進行壓力控制。此變送器還配備 RS232 數字通信接口,可設定變送器參數并提供實時壓力測量。有關此接口的詳情,請參閱 RS232 指導手冊 300544665。
傳感器技術
此變送器通過測量薄金屬膜與圖案化電極之間的電容進行工作。當處理壓力發生變化時,薄膜改變其相對于電極的位置,促使電容發生改變。電容的變化與壓力的變化成正比。由于薄膜位置與氣體類型無關,因此不論氣體成分如何,變送器都提供相同的輸出信號。薄膜和傳感器全部由鎳合金構成,從而它能夠抵御腐蝕或氧化所造成的損害。
應用
變送器可用于眾多不同領域的真空應用中,如:半導體、分析和涂料工業中:
? 一般真空壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 薄膜沉積處理,例如蒸發、濺射和化學氣相沉積 (CVD)。
? 高級材料處理,例如真空爐和陶瓷燒結。
? 溶液和油液的真空脫氣。
? 等離子和化學清洗。
? 分析儀器,例如電子顯微鏡、熱分析儀和質譜儀。

技術數據
全量程測量范圍:
1000, 100, 20, 10, 1 和 0.1 托
精確度 (1)
范圍 ≥ 1 托: 讀數的 0.20%。
0.1 托范圍: 讀數的 0.50%
分辨率(2)
全量程的 0.003%
電源電壓:
+14 至 +30 伏直流;0.030 安時的額定電壓為 24 伏直流
功耗:
< 1 瓦
模擬輸出:
0 – 10.00 伏直流
響應時間:
F.S 范圍 ≥ 1 托,從 F.S 的 0% 至 90%,響應時間為 40 毫秒。對于 0.1 托,從 F.S 的 0% 至 90%,響應時間為 80 毫秒。
采樣率:
對于范圍 > 1 托 (1.33 毫巴) 的變送器,模擬輸出信號大約每秒更新 1000 次對于范圍 ≤ 1 托 (1.33 毫巴) 的變送器,模擬輸出信號大約每秒更新 500 次
暴露在真空中的材料:
Inconel® 和 Incoloy® 鎳合金。KF 和 CF 法蘭由 300 系列不銹鋼制成。

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