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1、第一階段——原子吸收現象的發現與科學解釋
早在1802年，伍朗斯頓（W.H.Wollaston）在研究太陽連續光譜時，就發現了太陽連續光譜中出現的暗線。1817年，夫瑯禾費（J.Fraunhofer）在研究太陽連續光譜時，再次發現了這些暗線，由于當時尚不了解產生這些暗線的原因，于是就將這些暗線稱為夫瑯禾費線。1859年，克希荷夫（G.Kirchhoff）與本生（R.Bunson）在研究堿金屬和堿土金屬的火焰光譜時，發現鈉蒸氣發出的光通過溫度較低的鈉蒸氣時，會引起鈉光的吸收，并且根據鈉發射線與暗線在光譜中位置相同這一事實，斷定太陽連續光譜中的暗線，正是太陽外圍大氣圈中的鈉原子對太陽光譜中的鈉輻射吸收的結果。
2、第二階段——原子吸收光譜儀器的產生
原子吸收光譜作為一種實用的分析方法是從1955年開始的。這一年澳大利亞的瓦爾西(A.Walsh)發表了他的著名論文“原子吸收光譜在化學分析中的應用”奠定了原子吸收光譜法的基礎。50年代末和60年代初，Hilger, Varian Techtron及Perkin-Elmer公司先后推出了原子吸收光譜商品儀器，發展了瓦爾西的設計思想。到了60年代中期，原子吸收光譜開始進入迅速發展的時期。
3、第三階段——電熱原子吸收光譜儀器的產生
1959年,蘇聯里沃夫發表了電熱原子化技術的第一篇論文。電熱原子吸收光譜法的絕對靈敏度可達到10-12-10-14g,使原子吸收光譜法向前發展了一步。塞曼效應和自吸效應扣除背景技術的發展,使在很高的的背景下亦可順利地實現原子吸收測定。基體改進技術的應用、平臺及探針技術的應用以及在此基礎上發展起來的穩定溫度平臺石墨爐技術(STPF)的應用,可以對許多復雜組成的試樣有效地實現原子吸收測定。
4、第四階段——原子吸收分析儀器的發展
隨著原子吸收技術的發展，推動了原子吸收儀器的不斷更新和發展，而其它科學技術進步，為原子吸收儀器的不斷更新和發展提供了技術和物質基礎。使用連續光源和中階梯光柵，結合使用光導攝象管、二極管陣列多元素分析檢測器，設計出了微機控制的原子吸收分光光度計，為解決多元素同時測定開辟了新的前景。微機控制的原子吸收光譜系統簡化了儀器結構，提高了儀器的自動化程度，改善了測定準確度，使原子吸收光譜法的面貌發生了重大的變化。聯用技術（色譜-原子吸收聯用、流動注射-原子吸收聯用）日益受到人們的重視。色譜-原子吸收聯用，不僅在解決元素的化學形態分析方面，而且在測定有機化合物的復雜混合物方面，都有著重要的用途，是一個很有前途的發展方向。
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