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三維表面形貌測量提供零部件表面的千萬點云數據，可用于分析七類表面質量指標。
1.平面度
平面度是指實際平面與標準平面的偏差。在分析軟件中，三維表面形貌測量的數據經過最小二乘法等算法得到標準平面，以平行于標準平面，且具有最小距離的兩包容平面間的距離作為平面度誤差。
2.粗糙度
粗糙度是指加工后的零部件表面上具有的較小間距和微小峰谷所組成的微觀幾何特征，一般受到加工和摩擦等因素形成。粗糙度是表面質量直接的顯示，粗糙度Ra<0.8μm的表面稱之為鏡面，即能夠倒影出物體影像。
3.翹曲度
翹曲度是實測平面在空間中的彎曲程度，以翹曲量來表示，比如絕對平面的翹曲度為0。計算翹曲平面在高度方向最遠的兩點距離為最大翹曲變形量。
4.共面性
共面性也被稱之為平整度、共面度，是指各個端面與基準面的偏移量，基準面由定義的三個端面組成。常見的應用包括IC芯片、電子連接器等電子元器件的針腳共面度等。
5.輪廓度
輪廓度是指實測輪廓與理想輪廓的偏差情況，用于描述曲面或曲線形狀的準確度，可以帶基準，或者不帶基準。在測量分析中通過2D截面計算獲得。
6.波紋度
波紋度與粗糙度類似，指間距大于表面粗糙度但小于表面幾何形狀誤差的表面幾何不平度，屬于微觀和宏觀之間的幾何誤差。
7.腐蝕、磨損的面積與體積
零部件表面由于腐蝕、磨損作用發生變化，在相關的研究中需要計算腐蝕、磨損表面的面積和體積，這些結果可在三維表面形貌測量數據中得到。
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