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非接觸式光學(xué)輪廓儀CCI HD
白光干預(yù)儀/非接觸式輪廓儀引見：
CCI HD 是一種非接觸式光學(xué) 3D 輪廓儀，具有丈量薄膜和厚膜的功用。 它采用享有**的新型關(guān)聯(lián)算法，來查找由我們的精細光學(xué)掃描安裝產(chǎn)生的干預(yù)圖的相干峰和相位。 這種新型的 CCI HD 整合了世界**的非接觸式尺寸丈量功用和先進的厚薄膜丈量技術(shù)。
CCI HD 除了提供尺寸和粗糙度丈量功用，還能夠提供兩品種型的膜厚丈量。 近年來厚膜剖析被用于研討厚度至約 1.5 微米的半透明涂料；丈量的厚度限制取決于資料的折射率和標的物的 NA。 丈量較薄的涂層被證明尷尬度更高。如今經(jīng)過干預(yù)丈量法能夠研討厚度至 50 納米（同樣取決于折射率）的薄膜涂層。 采用這種新型辦法，能夠在單次丈量中研討膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層外表的剝離等特性。
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