半導體和電子元件制造商在其質量控制流程使用工業顯微鏡。 顯微鏡可以用于檢測缺陷以及目標規格的偏離,例如:
· PCB中元件的錯誤定位
· 半導體晶圓上可帶來短路風險的導電污染物
· 相機傳感器和屏幕上的死像素
顯微鏡也用于驗證這些復雜的元件是否符合國際標準。 在顯微鏡下觀察內存芯片和微處理器半導體的技術細節,可確??煽康臋z查。
質量控制流程不僅成本高,而且耗時。因此,制造商不斷在尋求優化其質控方法和提高效率的方式。 選擇正確的軟件控制質量控制用顯微鏡,可以極大地提高他們的底線。 其中更為重要的是,軟件必須易用,并可提高工作流程指導,從而確??煽康慕Y果和可重復的測量,無論操作員的經驗如何。
使用我們的半導體檢測解決方案控制質量控制的成本
PRECiV軟件可優化多個用戶的產品檢查流程,不僅可以加快檢測速度,而且可以標準化顯微鏡的操作,從而提高結果的可重復性。 以下是PRECiV軟件能夠協助您控制質量控制成本的5種方式:
1. 輕松易用的系統縮短了缺陷檢測時間
簡潔、對用戶友好的軟件界面讓顯微鏡下的圖像采集和數據記錄變得更加輕松,即使對無經驗的用戶來說也是如此。
PRECiV軟件為質量控制檢查員提供了直接可用的多種2D計數和測量工具組合。 用于缺陷測量的基礎工具包括距離、面積、直徑、角度和坐標,另外還有其他工具:
· 檢測邊緣模式,用于快速定義測量起點和終點(使用對比度檢測)。
· 關聯對象模式,僅需輕輕點擊幾次即可重復利用現有的測量。
· 導出測量結果按鈕,用于直接以所需格式導將結果導出到共享驅動器。
2. 簡化了大型半導體和電子元件的完整檢查
PRECiV軟件提供對兼容顯微鏡、電動物鏡轉盤和顯微鏡相機的集成控制,包括短波紅外(SWIR)技術。 它的實時采集工具進一步擴展了您的成像功能,允許您檢查大型半導體晶圓和電子元件。
自動聚焦的全景圖像
采集手動顯微鏡視野之外的聚焦圖像只是PRECiV軟件增強測量功能的示例之一。 在電動顯微鏡上,您也可使用即時模式并按一下按鈕即可激活以下自動功能:
· EFI(景深擴展圖像):獲取一個樣品的不同高度上的多張焦點面圖像并合成一張全聚焦圖像。
· 全景:可使您在整個樣品上移動載物臺,然后再將采集的圖像拼接成一張大圖像。
· 全景和 EFI:在載物臺移動的同時自動重建全景圖像。 彩色框指示質量。 如果圖像未聚焦,用戶可隨時重新聚焦圖像。
自上而下半導體檢測的多個觀察選項
PRECiV軟件對用戶非常友好,所以檢查員僅需略微培訓即可使用明場、暗場、MIX(明暗場結合)、偏光成像方式以及微分干涉(DIC)觀察方法采集和分析圖像。 軟件對于第三方SWIR相機的集成控制,也允許用戶檢查帶有SWIR波長范圍涂層的光學元件。
3. 優化您的材料測量工作流程
為了標準化和提高檢查流程的效率,PRECiV軟件提供專用的材料解決方案工作流程。 經驗不同的用戶都會發現這些步驟不僅直觀而且簡單:
· 手動測量簡單易用,并可在對一系列記錄的圖像進行測量時重新載入。
· 可以使用輔助工具和自動邊緣檢測定義復雜的手動測量,以便在兩點之間進行可靠的測量。 *
· 專用可選解決方案中的工作流程步驟(例如顆粒分布、相位分析)為更高的可重復性而提供了指導。
*在PRECiV Pro和PRECiV Desktop中提供。
4. 通過連接性提高效率
配備PRECiV工作站的質量控制團隊可通過數據的網絡共享和設置來優化及標準化其流程:
· 使用每個圖像數據文件保存和重新加載圖像條件,包括校準信息,這些信息保存在圖像(JPEG)文件的標題中。
· 保存測量參數、文件和其他設置(處理、材料解決方案、注釋等)后,可在任何PRECiV工作站上調用。
· 定義訪問權限,僅允許經授權用戶修改系統參數。
5. 實現多用戶的整體合規
PRECiV軟件支持符合晶圓廠和安 全策略的多用戶環境。 它的自動功能有助于確保顯微鏡的所有校準和測量都按國際制造規程執行,從而避免操作員的人為錯誤。
· 使用一個經校準具備可追溯的測微臺尺通過軟件的自動倍率校準功能來檢查光路的校準。
· 材料解決方案套裝可引導用戶完成符合國際標準的從圖像采集到導出報告的工作流程。
· 可將所有測量分析導出到Excel文件(直接保存文件)或直接導出到報告。
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