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HPLC 經常使用于各種有機物質分析，與質譜儀組合為 LC/MS，可進行極微量的分析。
超純水使用于移動相製備、標準液調配及作為空白實驗。實驗用超純水中的有機物會造成背景值與雜訊的發生，使分析結果受到干擾。以 HPLC（以 UV 檢測）對不同超純水的有機物含量進行檢測時，結果顯示，有機物的含量與吸收背景值具正相關的關係（圖１）。
此時，可以使用紫外線燈（波長 185 nm）照射來降低有機物含量，被氧化分解的有機物則以離子的形態存在于水中，可以在后續的純化程序中使用離子交換樹脂來加以去除（圖２）。所以，在純化程序中可以利用紫外線來大幅降低有機物（TOC）的濃度（表１）。
| | 超純水 | 超純水 |
| | （無紫外燈） | （紫外燈） |
| TOC（ppb） | 15 | 3 |
LC/MS 是以液相層析法來分離待測樣品，之后再以離子化分析來判定其物質質量的一種高靈敏度系統。因此，對于所使用的純水水質中的有機物含量要求非常嚴格。以紫外線照射的超純水進行含有 4 種合成殺菌劑的圖譜比對分析。
結果顯示，使用紫外線照射的超純水來製備的標準液，可以獲得穩定且較低的背景值與對稱又不重疊的波峰。而使用未經紫外線照射處理的超純水，其分析結果則呈現背景值過高，造成與目標成份重疊，以致無法正確分析的結果。因此上述結果確認了，使用具有紫外燈的超純水系統所純化的超純水，適用于LC/MS的微量有機物分析。
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