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白光干涉儀是一種精度很高的非接觸式測量設備，其廣泛應用于各類加工樣品和精密器件的表面特征檢測，涉及的學科已經超過30個。這種設備利用兩道相同特性的白光在零光程差時條紋對比明顯之特性，來判定零光程差的發生位置，借此取得待測物體的三維表面形貌變化。然而，白光干涉儀的測量結果可能會受到以下因素的影響：
1. 光源的穩定性：光源的穩定性對白光干涉儀的測量結果有著重要影響。如果光源不穩定，那么干涉信號就會受到影響，從而影響到測量結果的準確性。
2. 環境溫度：環境溫度的變化會影響到光學系統的參數，從而影響到測量結果。因此，在使用白光干涉儀進行測量時，需要盡可能地保證環境溫度的穩定。
3. 光學元件的質量：光學元件的質量直接影響到干涉儀的性能。如果光學元件的質量不佳，那么就會降低測量結果的準確性。
4. 被測物體的表面質量：被測物體的表面質量也會影響到測量結果。如果被測物體的表面質量不佳，那么就會降低測量結果的準確性。
5. 被測物體的反射率：被測物體的反射率對測量結果也有影響。如果被測物體的反射率較低，那么照射到物體的大部分都會被吸收，反射光強度會減少，干涉信號微小或不會出現干涉現象。
6. 光源的波長：由于傳統干涉法存在的局限性，當表面微觀高度不連續性超過1/4窄帶光源波長時，由于條紋的周期性使得不易精確分辨，從而無法進行微觀高度超過十幾微米的測量。
白光干涉儀的測量結果會受到多種因素的影響，因此在實際操作中需要對這些因素進行有效的控制，以確保測量結果的準確性。
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