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可測量殘留氣體成分的真空計SC-10的特點
?通過監測殘留氣體成分，可以監控真空設備的健康狀況并立即發現異常情況。
?用一臺裝置即可測量真空度（總壓）和氣體成分（分壓）。
SC-10智能真空計是我公司研發的一款全新的自動真空計，既可以測量殘余氣體成分，也可以測量全壓真空。
總壓真空范圍從大氣壓到10-7Pa的超高真空，當總壓達到約50Pa時，氣體成分的分壓自動開始，從而可以測量約10-5Pa到10-6Pa。 。
可以在粗略壓力范圍內測量氣體成分并檢查是否有泄漏，而這對于傳統氣體分析儀來說是不可能的。
智能真空計可以測量殘留氣體的成分，因此即使在抽氣過程中，您也可以快速檢查真空設備的健康狀況，例如泄漏和水蒸氣脫氣。下面的兩張圖顯示了同一裝置的不同排氣數據，在圖1中，顯示了正常排氣，水蒸氣是主要成分并決定了總壓力真空，而在圖2中，氮氣由于泄漏而停止。向下排氣開始后約5分鐘，如果繼續排氣約10分鐘，則氮氣的量變得多于水蒸氣，并且總壓和真空度的降低停止。通過使用智能真空計，您可以快速發現僅通過監測總壓力和真空度無法檢測到的排氣異常及其原因。
圖1
圖2
智能真空計不僅可以讓您知道是否存在泄漏，還可以噴射氦氣或氬氣來定位泄漏位置。圖3顯示了在泄漏位置噴射氬氣時智能真空計的數據，氬氣增加而氮氣減少表明存在泄漏。泄漏停止后，如圖4所示，氮氣和氧氣減少，水蒸氣成為主要成分，成為典型真空裝置的殘余氣體成分。
圖3
圖4
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