真空泵的工作原理是:
機驅動的高速旋轉葉片撞擊氣體分子,被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個旋轉葉片上,最終被送到排氣口。旋轉葉片和固定葉片的方向相反,使分子難于逆行。這種排氣方式,排氣速度不因氣體種類而變。
真空泵的工作過程通常可以被分為兩個階段,即抽氣階段和排氣階段。
在抽氣階段,真空泵被啟動后,通過旋轉或者連續變化的工作腔,逐步從系統中抽出氣體。當系統中氣體的壓力下降到一定程度時,進入排氣階段,真空泵開始將系統中的氣體排出,以此達到形成真空環境的目標。
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