ceratech真空吸盤（多孔吸盤）產品介紹

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年08月13日 16:03

ceratech真空吸盤（多孔吸盤）產品介紹

制造方法提高了多孔部分和基部之間的粘合性，并且即使在邊界處也形成了足夠平坦的表面。
因此，可以在晶片減薄工藝和需要大型基板的全表面吸附的制造工藝中提供高生產率和可靠性。
多孔體可以根據用戶需求靈活選擇材料和孔徑。
還可以在陶瓷底座中設置中空凹槽以用于冷卻目的。

　*根據用途也可提供表面涂層。（脫模涂層、導電涂層等）

特性表

	型號	密度g/ cm3	彈性模量GPa	彎曲強度MPa	熱膨脹系數×10 -6 /K	導熱系數W/m?K	電阻值Ω·cm
氧化鋁	A995	3.9	380	450	7.3	30	>10 14
多孔氧化鋁	-	2.5	55	50	7.4	-	10 11
碳化硅	標準品	3.1	410	500	4.6	170	10 6
多孔碳化硅	-	2.1	55	50	4.7	-	10 6

　通過對多孔體施加負壓來吸附并固定被吸附物。

　陶瓷內部形成中空結構，因此無需擔心泄漏。

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