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YP-150I半導體晶圓表面缺陷檢查燈原理應用

來源:深圳秋山工業設備有限公司   2024年09月06日 17:55  

YP-150I半導體晶圓表面缺陷檢查燈原理應用


表面瑕疵燈用于人工檢測工件表面灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點。

檢測原理是:利用適合的LED 燈源,通過光學透鏡和濾光片折射出特殊的光源,照在工件表面折射出光路,使得操作員肉眼可識別出工件表面的瑕疵。

YP-150I 表面檢查燈 YP-250I

基本信息高強度鹵素光源裝置

超精密平面檢測的理想選擇!通過驚人的照明,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。

“YP-150I”是一種用于顯微觀察的照明裝置

用于檢測最終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導體加工過程中勞動強度的一種。觀察晶圓和液晶板、玻璃表面、部件表面的瑕疵,廣泛應用于鏡片、液晶玻璃、手機屏幕、汽車玻璃,晶圓片、模具、汽車、手機保護膜、柔性基板、網版絲印等行業

表面的照度可超過 400,000 Lx。

另外,由于采用鹵素燈作為光源,色溫高,

光照不均勻的情況很少,光照強度穩定銳利。

姊妹機“YP-250I”也可用于 8 英寸。

■ 光源采用鹵素燈

■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

■ 熱量的影響降低到傳統鋁鏡的1/3

■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

請用于超精密平面檢測!

高亮度鹵素光源裝置“YP-250I”是用于檢測劃痕、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置。

采用鹵素燈作為光源,色溫高,減少照明不均,照明***穩定銳利。

此外,本機為“YP-150I”的姊妹機,有螺旋槳風機型和管道風機型可供選擇,可根據應用進行使用。

YP-150I,可精確檢查到1um 以下的刮痕或微粒子,幾乎可檢測出所有塵埃。我們有不同強度及樣式的表面瑕疵檢測燈,如果是測試要求比較高的大半導體廠,可使用強度為30萬LX以上的檢查燈,如果是測試要求沒那么高的一般封測廠,可采用光源強度達 5萬LX的檢查燈。檢測燈使用壽命為2萬小時以上,比傳統的檢查燈壽命長且效用增強 10 倍。


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