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德國Thyracont真空計在半導體行業的應用

來源:赫爾納貿易(大連)有限公司   2024年09月11日 13:32  

德國Thyracont真空計在半導體行業的應用

德國Thyracont公司致力于研發和生產智能真空測量儀表以及控制儀表

我們的產品組合包括真空傳感器、真空傳感器、真空計、真空開關、控制器以及附件和真空組件。Thyracont真空計包括了薄膜規,電容規,電阻規,皮拉尼,熱陰極,冷陰極,以及復合真空規,滿足不同量程的需求。

圖拉特thyracont真空產品應用于半導體行業:

晶圓鍵合是半導體技術中的一個程序步驟,將兩個晶圓連接在一起。對于某些應用,如芯片傳感器的封裝,該過程是在真空下進行的

加載時,粘結室通過粗加工泵在旁路連接中抽真空,直到達到真空度,此時系統可以平穩切換到高真空泵。然后在高真空條件下進行粘合過程。在抽真空過程中,必須精確控制旁路中的絕對壓力,以防止損壞高真空系統。在晶圓鍵合過程中,必須監測腔室內的真空度,以保證所需的結果

VSC43MA4型粗真空傳感器用于控制旁路循環。其陶瓷傳感器以所需的精度測量絕對壓力,并且幾乎無需維護。粘合過程的過程壓力通過帶有皮拉尼/冷陰極組合傳感器的VSM傳感器進行監控。

緊湊型VSC43壓電傳感器用于測量粗真空范圍內的絕對壓力。由于其耐用的陶瓷傳感器,它對污垢和污染幾乎不敏感

VSC43真空計

耐化學腐蝕:帶氟橡膠密封的陶瓷傳感器

可靠:高可靠性和長期穩定性

獨立:測量不受氣體類型的影響

快速:響應時間短,可達 20 ms

堅固耐用: 耐臟污

可根據要求提供控制器:適用于 Thyracont 1 和 2 通道控制器 VD6 / VD12

標準化線性輸出信號 0-10 V(四線)或 4-20 mA(兩線)


帶皮拉尼/冷陰極傳感器的VSM真空傳感器

· 長壽命:通過皮拉尼自動控制冷陰極,冷陰極在低壓下接通可延長使用壽命,對空氣涌入不敏感

· 可靠: 出色的點火性能

· 低雜散磁場

· 超壓穩定:過壓穩定性高達 16 bar

· 金屬密封不銹鋼傳感器單元,適用于特高壓應用(浸出率<5e-10毫巴升/秒)

· 防護等級高達 IP54

· 多種接口:數字RS485接口加上0-10 V輸出信號,EtherCAT或PROFINET。

· 繼電器開關點:兩個獨立的、無電勢的繼電器開關點



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