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臺式掃描電鏡的操作步驟與維護保養

來源:深圳市中圖儀器股份有限公司   2024年10月18日 08:45  
  臺式掃描電鏡的操作步驟通常包括以下幾個關鍵階段:
  樣品制備:確保樣品干燥、清潔,并牢固地粘貼在導電膠上。使用潔凈的壓縮氣體吹掃樣品表面,以去除任何雜質。
  設備設置:將樣品放入掃描電鏡的樣品杯中,并調整樣品臺的位置,使其低于樣品杯上緣一定距離。然后,打開掃描電鏡的艙門,將樣品杯放入,并關閉艙門。
  參數調節:在掃描電鏡的控制面板上,設置合適的加速電壓和束流,通常加速電壓選擇在1-30kV范圍內。接著,進行聚焦和放大倍數的調整,以獲得清晰的圖像。
  圖像捕捉:在最佳成像條件下,捕捉并保存所需的圖像。
  維護保養方面,臺式掃描電鏡需要定期進行以下工作:
  清潔:定期清潔掃描電鏡的電子光學系統和真空系統,以防止污染和性能下降。使用專用的清潔工具和溶劑,確保不會損壞設備。
  檢查:定期檢查設備的各個部件,包括電子槍、探測器、樣品臺等,確保其正常工作。
  校準:定期對掃描電鏡進行校準,以確保其成像質量和分辨率的準確性。
  記錄:如實記錄設備的使用時間、維護情況和任何異常情況,以便及時發現并解決問題。
  遵循正確的操作步驟和定期的維護保養,可以確保臺式掃描電鏡的長期穩定運行和成像質量。

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