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帶您了解ceratech帶加熱器靜電吸盤(ESC/加熱器)

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年10月19日 11:12

靜電吸盤/陶瓷加熱器

通過將金屬電極放置在陶瓷內(nèi)部并將它們燒結在一起，可以制造靜電吸盤和陶瓷加熱器。
我們擁有一系列靜電吸盤/陶瓷加熱器，可充分利用各種材料技術來滿足用戶需求。我們根據(jù)等離子體環(huán)境領域和電子束使用領域等應用提供從開發(fā)到原型設計階段的產(chǎn)品。

　平整度0.2μm以下

　根據(jù)晶圓形狀形成卡盤形狀（凹凸控制）。

相關產(chǎn)品

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