優點
X射線熒光光譜儀可以在短時間內同時測量幾乎所有比鎂重的元素。可以對固體和液體進行無損分析,如果使用手持設備,則可以隨身攜帶它到任何地方,只需將設備壓在待分析物體上幾秒鐘即可完成測量。
缺點
X射線熒光光譜儀不擅長檢測輕元素,不適合分析有機物的主要構成元素氫、碳、氮、氧。此外,只能測量元素的存在和數量,但不可能確定元素的組合。
例如,如果檢測到鐵,則無法確定它是金屬鐵還是氧化鐵,因此即使檢測到鉀和氯,也無法斷定存在lv化鉀。
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