光刻工藝：對準與曝光介紹

01引言

Introduction

在科技的海洋中，光刻工藝猶如一顆璀璨的明星，以其魅力吸引著眾多科技愛好者的目光。今天，就讓我們一起走進托托科技系列推文，輕松掌握光刻工藝中的對準與曝光部分，感受科技與藝術的融合。

02光刻工藝：半導體制造的基石

Photolithography: The Cornerstone of Semiconductor Manufacturing

光刻工藝，作為半導體制造過程中的核心步驟，對于芯片的性能和可靠性具有至關重要的影響。簡單來說，光刻工藝就是將預設的圖形轉移到半導體材料上，為后續加工提供精確的模板。而在這個過程中，對準與曝光則是至關重要的兩個環節。

曝光方式分類：根據光源類型、曝光方式等，可分為多種類型。如掩膜對準式曝光、步進投影式曝光、激光直寫、電子束直寫等。

掩膜對準式曝光：需要掩膜版，1:1關系，接觸式和接近式；

步進投影式曝光：需要掩膜版，有投影系統，按一定比例將圖形曝光在光刻膠上；

激光直寫：利用激光束掃描和DMD技術來獲得圖形，無需掩膜版；

電子束直寫：電子束光源，曝光過程采用失量或者柵線掃描獲得圖形，無需掩膜版，通常分為高斯束和變形束。

非接觸接近式，無掩膜曝光系統

托托科技無掩膜光刻機經由所選圖形產生二進制信號，進而控制微反射鏡的偏轉角度，使得光線的空間分布與待光刻圖形一致。經反射鏡投影物鏡到內，最終照射到光刻膠襯底。無掩膜版紫外光刻機與傳統光刻機相比，節約了制版的時間和費用，提高了圖形設計的自由度，更值得一提的是，托托科技特別為研究二維材料性能的客戶開放了直接繪制電極的功能，即通過交互式綠光虛擬套刻技術，讓材料電極圖形繪制和對準變得更加簡單和精準。

在光刻工藝中，對準與曝光不僅是技術的體現，更是與科學的結合。通過精確的對準和曝光技術，我們可以將預設的圖形轉移到半導體材料上，為后續加工提供精確的模板。這種技術與科學的結合，不僅提高了半導體制造的效率和質量，還為科研帶來了無盡的想象空間和探索樂趣。