美國D634-390C系列穆格MOOG穆格伺服閥

　　由永磁力矩馬達、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成。當輸入線圈通入電流時，檔板向右移動，使右邊噴嘴的節流作用加強，流量減少，右側背壓上升；同時使左邊噴嘴節流作用減小，流量增加，左側背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡, 閥芯遂向左移動。高壓油從S流向C2，送到負載。負載回油通過 C1流過回油口，進入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態下力矩馬達的差動電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。表中是穆格MOOG伺服閥的分類。

　　穆格MOOG伺服閥主要用在電氣液壓伺服系統中作為執行元件（見液壓伺服系統）。在伺服系統中，液壓執行機構同電氣及氣動執行機構相比，具有快速性好、單位重量輸出功率大、傳動平穩、抗干擾能力強等特點。另一方面，在伺服系統中傳遞信號和校正特性時多用電氣元件。因此，現代高性能的伺服系統也都采用電液方式，伺服閥就是這種系統的必需元件。

　　美國D634-390C系列穆格MOOG穆格伺服閥結構比較復雜，造價高，對油的質量和清潔度要求高。新型的穆格MOOG伺服閥正試圖克服這些缺點，例如利用電致伸縮元件的穆格MOOG伺服閥，使結構大為簡化。另一個方向是研制特殊的工作油（如電氣粘性油）。這種工作油能在電磁的作用下改變粘性系數。利用這一性質就可通過電信號直接控制油流。

　　國內生產伺服閥的廠家主要有：航空工業總公司第六O九研究所、航空工業總公司第六一八研究所、北京機床研究所、中國運載火箭技術研究院第十八研究所、上海航天控制工程研究所、九江中船儀表有限責任公司（四四一廠）及中國船舶重工集團公司第七O四研究所。國外生產伺服閥的廠家主要有：美國 Moog公司、英國Dowty公司、美國Team公司、俄羅斯的“祖國"設計局、沃斯霍得工廠等，此外美國Park公司、EatonVickers公司、德國Bosch公司、Rexroth公司等亦有自己的伺服閥產品。

　　電液伺服閥一般按力矩馬達型式分為動圈式和永磁式兩種。傳統的伺服閥大部分采用永磁式力矩馬達，此類伺服閥還可分為噴嘴擋板式和射流式兩大類。國內生產伺服閥的廠家大部分以噴嘴擋板式為主。生產射流管式伺服閥形成規模及系列的只有九江中船儀表有限責任公司（四四一廠）和中國船舶重工集團公司第七O四研究所。國外情況亦類似，原專業生產射流管式伺服閥的廠家美國Abex公司也已被Park公司所吞并。然而，由于射流管式伺服閥具有抗污染性能好、高可靠性、高分辨率等特點。有些生產廠家也在研制或已推出自己的射流管式產品，如航空工業總公司第六O九研究所、中國運載火箭技術研究院第十八研究所、美國Moog公司及俄羅斯的有關廠家等。美國Moog公司還在2006年7月召開了產品推廣會，推出了射流管式的D660系列產品，并認為該產品代表了今后伺服閥的發展趨勢。

　　隨著各項技術水平的發展，通過采用新型的傳感器和計算機技術研制出機械、電子、傳感器及計算機自我管理（故障診斷、故障排除）為一體的智能化新型伺服閥。該類伺服閥可按照系統的需要來確定控制目標：速度、位置、加速度、力或壓力。同一臺伺服閥可以根據控制要求設置成流量控制伺服閥、壓力控制伺服閥或流量/ 壓力復合控制伺服閥。并且伺服閥的控制參數，如流量增益、流量增益特性、零點等都可以根據控制性能優化原則進行設置。伺服閥自身的診斷信息、關鍵控制參數（包括工作環境參數和伺服閥內部參數）可以及時反饋給主控制器；可以遠距離對伺服閥進行監控、診斷和遙控。在主機調試期間，可以通過總線端口下載或直接由上位機設置伺服閥的控制參數，使伺服閥與控制系統達到最佳匹配，優化控制性能。而伺服閥控制參數的下載和更新，甚至在主機運轉時也能進行。而在伺服閥與控制系統相匹配的技術應用發展中，嵌入式技術對于伺服閥已經成為現實。按照嵌入式系統應定義為：“嵌入到對像體系中的專用計算機系統"。“嵌入性"、“專用性"與“計算機系統"是嵌入式系統的三個基本要素。它是在傳統的伺服閥中嵌入專用的微處理芯片和相應的控制系統，針對客戶的具體應用要求而構建成具有優控制參數的伺服閥并由閥自身的控制系統完成相應的控制任務（如各控制軸同步控制），再嵌入到整個的大液壓控制系統中去。

從的技術發展和液壓控制系統對伺服閥的要求看，伺服閥的自診斷和自檢測功能應該有更大的發展電子化、數字化技術在電液伺服閥技術上的運用主要有兩種方式：其一，在電液伺服閥模擬控制元器件上加入D/A轉換裝置來實現其數字控制。隨著微電子技術的發展，可把控制元器件安裝在閥體內部，通過計算機程序來控制閥的性能，實現數字化補償等功能。但存在模擬電路容易產生零漂、溫漂，需加D/A 轉換接口等問題。其二，為直動式數字控制閥。通過用步進電機驅動閥芯，將輸入信號轉化成電機的步進信號來控制伺服閥的流量輸出。該閥具有結構緊湊、速度及位置開環可控及可直接數字控制等優點，被廣泛使用。但在實時性控制要求較高的場合，如按常規的步進方法，無法兼顧量化精度及響應速度的要求。浙江工業大學采用了連續跟蹤控制的辦法，消除了兩者之間的矛盾，獲得了良好的動態特性。此外還有通過直流力矩電機直接驅動閥芯來實現數字控制等多種控制方式或伺服閥結構改變等方法來形成眾多的數字化伺服閥產品。