Transpwctor XPR3氣體分析系統的特點：

1、新設計的離子源使污染的產生更小，從而延長使用壽命 和提供更清楚的訊號。

2、新型EM在PVD工藝壓強下工作，提供更快速、清晰的數據收集和免除FC至EM的轉換，簡化數據的解譯過程。

3、新型加長的四極桿場可提高低質量范圍的過濾能力，提高質譜儀分辨同位素的靈敏度，從而改善氫的監測靈敏度。

Transpwctor XPR3氣體分析系統是新一代的高壓強四極場工藝氣體分析儀。它研發于先前INFICON系統成功的基礎上，在物理相汽沉積（PVD）檢測中具有高靈敏度、準確度和靈活性。一系列技術上的突破使輕便型Transpwctor XPR3的工作范圍從20耗乇至超高真空，無需大型負責的壓強轉換設備。

TRANSPECTOR XPR3的應用：

1、PVD工藝模塊

2、預清洗模塊

3、Non-cluter PVD設備

4、Clamped的除氣模塊