邁可諾技術有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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參考價 | 面議 |
更新時間:2024-05-16 16:36:28瀏覽次數(shù):3143
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子 |
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1、 勻膠機工作原理: SPIN-300勻膠旋涂儀(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉速度及時間有關。 2、勻膠機型號及技術參數(shù)如下:
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三、勻膠機的特點:
1、該SPIN-300勻膠旋涂儀采用德國*技術:
2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質構造設計,這種材質有很好的抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方;
3、勻膠機真空Chuck經(jīng)精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調整墊,可保障主軸具有較高的精度。
4、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調節(jié)轉速調節(jié)涂覆厚度。
5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮氣壓力可通過調壓閥和節(jié)流閥實現(xiàn)調節(jié),與配套真空泵一同使用。