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QUANTUM量子科學儀器貿易(北京)有限公司

當前位置:QUANTUM量子科學儀器貿易(北京)有限公司>>材料制備/樣品合成>>GEMStar-4/6/8 XT三維原子層沉積系統ALD

三維原子層沉積系統ALD

參   考   價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:GEMStar-4/6/8 XT

品       牌:其他品牌

廠商性質:生產商

所  在  地:北京市

更新時間:2024-04-18 08:33:20瀏覽次數:4218

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產地類別 進口 應用領域 化工,電子
原子層沉積(Atomic layer deposition)是將氣相前驅體脈沖交替通入反應器,化學吸附在沉積襯底上并反應形成沉積膜的種方法,是種可以將物質以單原子膜形式層層鍍在襯底表面的方法,因此,它是種真正的“納米"技術,以精確控制方式實現納米的超薄薄膜沉積。三維原子層沉積系統ALD用飽和化學吸附的性,可以確保對大面積、多空、管狀、粉末或其他復雜形狀基體的高保形的均勻沉積。

臺式三維原子層沉積系統ALD簡介:

原子層沉積(Atomic layer deposition, ALD)是通過將氣相前驅體脈沖交替的通入反應器,化學吸附在沉積襯底上并反應形成沉積膜的種方法,是種可以將物質以單原子膜形式逐層的鍍在襯底表面的方法。因此,它是種真正的“納米"技術,以精確控制方式實現納米的超薄薄膜沉積。由于ALD用的是飽和化學吸附的性,因此可以確保對大面積、多空、管狀、粉末或其他復雜形狀基體的高保形的均勻沉積。

美國ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺式 ALD系統,在小巧的機身(78 x56 x28 cm)中集成了原子層沉積所需的所有功能,可zui多容納9片8英寸基片同時沉積。GEMStar XT全系配備熱壁,結合前驅體瓶加熱,管路加熱,橫向噴頭等設計, 使溫度均勻性高達99.9%,氣流對溫度影響減少到0.03%以下。高溫度穩定度的設計不僅實現在 8英寸基體上膜厚的不均勻性小于1%,而且更適合對超高長徑比的孔徑結構等3D結構實現均勻薄膜覆蓋,可實現對高達1500:1長徑比微納深孔內部的均勻沉積。

GEMStar XT 產品點:

l  300℃ 鋁合金熱壁,對流式溫度控制

l  175℃溫控150ml前驅體瓶,200℃溫控輸運支管

l  可容納多片4,6,8英寸樣品同時沉積

l  可容納1.25英寸/32mm厚度的基體

l  標準CF-40接口

l  可安裝原位測量或粉末沉積模塊等選件

l  等離子體輔助ALD插件

l  多種配件可供選擇

GEMStar XT 產品型號:

GEMStar -4 XT:

l  zui大4英寸/100 mm基片沉積

l  單路前驅體輸運支管, 4路前驅體瓶接口

l  不可升為等離子體增強ALD

GEMStar -6/8 XT:

l  zui大6英寸(150mm)/8英寸(200mm)基片沉積

l  雙路前驅體輸運支管, 8路前驅體瓶和CF-40接口

l  可升為等離子體增強ALD

 三維原子層沉積系統ALD

GEMStar -8 XT-P:

l  zui大8英寸/200mm基片沉積

l  雙路前驅體輸運支管, 8路前驅體瓶和CF-40接口

l  裝備高性能ICP等離子發生器

13.56 MHz 的等離子源非常緊湊,只需風冷,zui高運行功率達300W。

l  標配3組氣流質量控制計(MFC)控制的等離子氣源線,和條MFC控制的運載氣體線,使難以沉積的氧化物、氮化物、金屬也可以實現均勻沉積。

豐富配件:


多樣品托盤:

l  多樣品夾具,樣品尺寸(8", 6", 4")向下兼容。

l  多基片夾具,zui多同時容納9片基片。{C}{C}


溫控熱托盤:

l  可加熱樣品托盤,zui高溫度500℃,可實現熱盤-熱壁復合加熱方式。

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尾氣處理系統:

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臭氧發生器:

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粉末旋轉沉積罐模塊:

配合熱壁加熱方式,進步實現對微納粉末樣品全保型薄膜均勻沉積包覆。

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手套箱接口:

可從側面或背面*接入手套箱,與從底部接入手套箱不同,不占用手套箱空間。由于主機在手套箱側面,反應過程中不對手套箱有加熱效應,不影響手套箱內溫度。

 

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國內外用戶

已發表文獻

1、  Lo?c Assaud et al. Systematic increase of electrocatalytic turnover over nanoporous Pt surfaces Prepared by atomic layer deposition. J. Mater. Chem. A (2015) DOI: 10.1039/c5ta00205b

2、  Xiangyi Luo et al. Pd nanoparticles on ZnO-passivated porous carbon by atomic layer deposition: an effective electrochemical catalyst for Li-O2 battery. Nanotechnology(2015) 26, 164003. DOI:10.1088/0957-4484/26/16/164003

3、 HengweiWang, et al. Precisely-controlled synthesis of Au@Pd core–shell bimetallic catalyst via atomic layer deposition for selective oxidation of benzyl alcohol. Journal of Catalysis (2015) 324, 59–68. DOI: 10.1016/j.jcat.2015.01.019

4、  Sean W. Smith, et al. Improved oxidation resistance of organic/inorganic composite atomic layer deposition coated cellulose nanocrystal aerogels. J. Vac. Sci. Technol. A (2014) 4, 32 DOI: 10.1116/1.4882239

5、 Fatemeh Sadat MinayeHashemi et al. A New Resist for Area Selective Atomic and Molecular Layer Deposition on Metal?Dielectric Patterns. J. Phys. Chem. C (2014), 118, 10957?10962. DOI: 10.1021/jp502669f

6、  Jeffrey B. Chou, et.al Enabling Ideal Selective Solar Absorption with 2D Metallic Dielectric Photonic Crystals. Adv. Mater. (2014), DOI: 10.1002/adma.201403302.

7、  Jin Xie, et al. Site-Selective Deposition of Twinned Platinum Nanoparticles on TiSi2 Nanonets by Atomic Layer Deposition and Their Oxygen Reduction Activities. ACS Nano (2013), 7, 6337–6345. DOI: 10.1021/nn402385f

8、 Pengcheng Dai, et al. Solar Hydrogen Generation by Silicon Nanowires Modified with Platinum Nanoparticle Catalysts by Atomic Layer Deposition. Angew. Chem. Int. Ed. (2013), 52, 1 –6. DOI: 10.1002/anie.201303813

9、 Joseph Larkin et al. Slow DNA Transport through Nanoporesin Hafnium Oxide Membranes. ACS Nano (2013), 11, 10121–10128. DOI: 10.1021/nn404326f

10、  Thomas M et al. Extended lifetime MCP-PMTs: Characterization and lifetime measurements of ALD coated microchannel plates, in a sealed photomultiplier tube Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A (2013) 732, 388–391. DOI: 10.1016/j.nima.2013.07.023

11、  Kevin J. Maloney et al. Microlattices as architected thin films: Analysis of mechanical properties and high strain elastic recovery. APL Mater. 1, 022106 (2013) DOI: 10.1063/1.4818168

12、   Sean W. Smith et al. Improved Temperature Stability of Atomic Layer Deposition Coated Cellulose Nanocrystal Aerogels. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. (2012) DOI: 10.1557/opl.2012.


單細胞分離

瑞士Cytosurge是將原子力系統、微流控系統、

原子層沉積系統

原子層沉積(Atomic layer deposi

三維原子層沉積系統ALD

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