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儀器以大規模集成電路為核心部件,采用平面輕觸式開關控制,及各種工作狀態LED指示.應用微計算機技術......
產品簡介
詳細介紹
四探針測試儀 概述：
LY.4-SDY-4型四探針測試儀是根據單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準設計的半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測試儀器.
儀器以大規模集成電路為核心部件,采用平面輕觸式開關控制,及各種工作狀態LED指示.應用微計算機技術，利用HQ-710E型測量數據處理器，使得測量讀數更加直觀、快速，并能實現晶片厚度自行修正，打印出全部預置和測量、計算數據。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩定性好、易操作。
LY.4-SDY4 本儀器可滿足半導體材料、器件的研究生產單位對材料（棒材、片材）電阻率及擴散層、離子注入層、異型外延層和導電薄膜方塊電阻測量的需要。
技術指標：
1 測量范圍: 電阻率:0.001-200Ω.cm（可擴展）;
方塊電阻:0.01-2000Ω/口（可擴展）;
2 可測晶片直徑（zui大）:100mm（配J-2B型手動測試臺）
200mm（配J-51型手動測試臺）
3 恒流源:電流量程分為0.1、1、10、100（mA）四檔,各檔電流連續可調.誤差<±0.3%
4 數字電壓表:
量程:0-199.99mV; 分辨率:10μV
顯示:四位半紅色發光管數字顯示;極性、小數點、超量程自動顯示。
輸入阻抗>1000MΩ; 精度:±0.1%.
5 zui大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）:0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.
6 四探針探頭:
間距:1±0.01mm;針間絕緣電阻≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3%
探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓（總力） TZT-9C/9D 5-8 牛頓（總力）
7 整機不確定度:（用硅標樣片測試）≤5% （0.01-180Ω.cm）
8 外形尺寸:電氣主機:360mm×320mm×100mm；數據處理器：300mm×210mm×105mm
9 數據處理器功能:
A 鍵盤控制測量取數,自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率（或方塊電阻）測量,顯示出平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正;
B 鍵盤控制數據處理,運算電阻率平均值和電阻率值zui大百分變化及平均百分變化;
C 鍵盤控制打印全部測量數據.測量條件、zui大電阻率值、zui小電阻率值、電阻率zui大百分變化及平均百分變化。
10 儀器重量：電氣主機：約4kg；測試臺：約10kg，數據處理器：約2.5kg
11 測試環境：溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無高頻干擾；無強光照射。