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太陽能電池工藝機械應用
閱讀：620 發(fā)布時間：2015-3-4KEYENCEFU系列傳感器技術專欄
在 8 mm 至 30 mm 的距離間，高精度檢測
8 至30 mm 之間，到玻璃基板的距離即使變化，
也可實現定位精度控制在0.2 mm 以下。
如下圖所示，通過減小光的開口，提高從箭頭方向開始的定位精度。
* FS-V30 系列 TURBO 模式 APC OFF 時
* FU-38S 在距離 5 mm 至 17 mm 的情況下，是 0.2 mm 以下的定位精度。
1 清洗裝置
2 擴散爐
清洗槽的液位管理
檢測盒子
入口的安全確認
檢測浮標式流量計的浮標
盒內的映射
檢測 Fork（福克）工件
檢測晶硅的碎片/ 裂痕
檢測裂痕/ 殘缺/ 碎片
冷卻水備用槽的液位管理
通過可視口檢測工件是否存在
透過可視口檢測工件存在與否
確認氣壓恢復
硅片有無的確認
送料器的除電
刮板和玻璃的調整
入口的安全措施
確認盒內的硅片位置
檢測托盤
確認搬運時架子的姿勢
檢測多層差異
晶硅裝載吸附搬運
玻璃粘在一起之前的定位
檢測色帶的斷開/ 褶皺
檢測移載機械臂周圍進入的物體