使用方法：

（1） 在背板上電源插座插好電源線、四探針頭連接線，檢查保險絲管有無松動。

（2） 打開背板上的電源開關（將I按下）此時面板上的數字表及各控制開關上均有指示燈點亮。

（3）從左向右，察看控制開關，先將電流換檔開關置于“1mA”, 在測硅片、硅塊時ρ/R置于“ρ”， 在測方塊電阻時ρ/R置于“R”，校準/測量檔選在“校準”。

（4）將四探針頭壓在樣品上，此時數字表上顯示的是測量電流;

如選用間距為1.00mm的四探針頭，

在10 mA檔時,調節粗調、細調旋鈕，使數字表顯示6.28，即I=6.28mA。

在1 mA檔時,調節粗調、細調旋鈕，使數字表顯示62.8，即I=0.628mA。

如選用間距為1.59mm的四探針頭，

在10 mA檔時,調節粗調、細調旋鈕，使數字表顯示10.0，即I=10mA。

在1 mA檔時,調節粗調、細調旋鈕，使數字表顯示100.0，即I=1mA。

（5）將zui右邊的按鈕按下，測量燈亮。此時數字表上顯示的是欲測樣品電阻率，樣品電阻率在1.0Ω·cm至199.9Ω·cm之間均可用此檔（1mA）測量，如數字表顯示1，后三位全不顯示時，表示材料電阻率大于200Ω·cm。

（6）電流選擇

電阻率≥1Ω·cm時選用1mA檔測量。

方塊電阻≥10Ω/□時選用1mA檔測量。

電阻率≤1Ω·cm時選用10mA檔測量。

方塊電阻≤10Ω/□時選用10mA檔測量。

   例如:選用間距為1.00mm的四探針頭， 當電流換檔開關按到10mA檔燈亮，將測量/校準開關按至“校準”燈亮，調節下面的粗、細調旋鈕，使數字表顯示6.28，此時測量電流即為6.28mA。將測量/校準開關按至測量時燈亮，此時讀出的數即是電阻率值，測量范圍在0.01至1.00Ω·cm，如數字表顯示0.00時，即表示材料電阻率很低，已小于0.01Ω·cm。

測量硅片電阻率時，請先用卡尺測出厚度，再在校準檔按附表調節好電流后，轉到測量檔即可方便讀出電阻率數。

              文章來源：北京綠野創能機電設備有限公司