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目錄:北京瑞科中儀科技有限公司>>磁控濺射>> 有機(jī)材料熱蒸鍍?cè)O(shè)備

有機(jī)材料熱蒸鍍?cè)O(shè)備
  • 有機(jī)材料熱蒸鍍?cè)O(shè)備
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參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 北京市
屬性

應(yīng)用領(lǐng)域:環(huán)保,化工,電子

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更新時(shí)間:2024-07-10 13:24:00瀏覽次數(shù):498評(píng)價(jià)

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有機(jī)材料熱蒸鍍?cè)O(shè)備:該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實(shí)現(xiàn)薄膜的高精度和均勻性。

有機(jī)材料熱蒸鍍?cè)O(shè)備

有機(jī)金屬熱沉積系統(tǒng)是一種熱蒸發(fā)的方式,用於將有機(jī)或金屬材料沉積到基板表面上。該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實(shí)現(xiàn)薄膜的高精度和均勻性。

為了達(dá)到此要求,有機(jī)材料熱沉積系統(tǒng)使用高精準(zhǔn)熱蒸發(fā)源作為加熱源,並使用金屬、石英、陶瓷或PBN坩堝來容納有機(jī)材料以及PID控制器來控制其沉積速率。該系統(tǒng)通常用於有機(jī)電子研究領(lǐng)域,例如OPV、OLED、OPD... 

有機(jī)材料熱蒸鍍?cè)O(shè)備

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封裝系統(tǒng)

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SYSKEY針對(duì)研究等級(jí)的實(shí)驗(yàn)室,推出玻璃對(duì)玻璃封裝的對(duì)位壓合機(jī)構(gòu)。我們整合塗膠系統(tǒng)(UV或liquid gate)和紫外光燈可安裝於手套箱或是獨(dú)立的一個(gè)壓合腔體內(nèi),且可手動(dòng)進(jìn)行放片,也可以透過自動(dòng)傳片系統(tǒng)使用。可撓式OLED必須輕薄且具有可撓曲性,因此過往的玻璃材料並不適合用於此類的封裝,必須採(cǎi)用薄膜封裝技術(shù)(Thin-Film Encapsulation,TFE)或混和封裝技術(shù)。SYSKEY針對(duì)薄膜封裝推出電漿輔助式化學(xué)氣相沉積、原子層沉積和聚對(duì)二甲苯沉積等三種設(shè)備,且使用低溫的沉積技術(shù),分別在OLED 上堆疊多層薄膜(SiNX、SiOXNX、Al2O3、ZnO、Parylene)並得到更好的保護(hù)層,以減少水氧對(duì)於有機(jī)元件的影響,從而提高OLED面板的壽命和性能。

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應(yīng)用領(lǐng)域腔體
  • 有機(jī)發(fā)光二極體

  • 有機(jī)光伏打電池

  • 材料科學(xué)研究

 

  • 由304不銹鋼所製成,通過外部焊接304不銹鋼管線對(duì)腔體進(jìn)行水冷

  • 寬大的前開式門,並有兩個(gè)視窗和

    視窗遮版用於觀察基材和蒸發(fā)源

  • 一個(gè)熱蒸發(fā)腔體內(nèi),最多可容納

    12組熱蒸發(fā)源

  • 腔體的極限真空度約為10-8 Torr。

配置和優(yōu)點(diǎn)選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑為12寸晶圓或470 x 370 mm2(玻璃)

  • 優(yōu)異的薄膜均勻度小於±3%

  • 用於有機(jī)材料的蒸發(fā)源(可用金屬、陶瓷、石墨或PBN坩堝)

  • 鍍率自動(dòng)控制:最小值為0.01?/s

  • 蒸發(fā)源溫度控制可達(dá)到精度±0.1oC

  • 具有順序操作或共沉積的多個(gè)蒸發(fā)源

  • 用CCD對(duì)位將玻璃基板和遮罩的

    位置對(duì)準(zhǔn)在±5μm以內(nèi)

  • 每個(gè)蒸發(fā)源和基材均有安裝遮板。

  • 每個(gè)蒸發(fā)源和基板均裝有百葉窗。

  • 可以與傳送腔、機(jī)械手臂和手套箱整合在一起

  • 殘留氣體分析儀。

 


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