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GC-9560-HG硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

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更新時間:2018-05-14 09:00:00瀏覽次數:646

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產品簡介

PDHID對硅烷中氣體雜質檢測限(ppb) H2 O2 Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50 50 50 50 20 20 20 20 50

詳細介紹

電子工業氣體:
高純度硅烷氣體雜質組份的檢測
一,GC-9560-HG硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀的應用領域: 
    硅烷在大規模集成電路(LSI)、超大規模集成電路(VLSI)和半導體器件制造中,用于氣相外延生長、化學氣相淀積等工藝(工序)。
1. 外延(生長)混合氣 在半導體工業中,在仔細選擇的襯底上選用化學氣相淀積的方法,生長一層或多層的材料所用的氣體叫做外延氣體。常用的硅外延氣體有二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,氧化硅膜淀積,氮化硅膜淀積,太陽能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。 
2. 化學氣體淀積(CVD)用混合氣 CVD是利用揮發性化合物,通過氣相化學反應沉積某種單質或化合物的一種方法,即應用氣相化學反應的一種成膜的方法。依據成膜種類,使用的化學氣相淀積(CVD)氣體也不同。
:硅烷中微量雜質的分析一直是色譜分析的難點。 
    目前多數采用的熱導檢測器由于靈敏度有限,很難測定5ppm以下的雜質;火焰離子化檢測器和氧化鋯檢測器是選擇性的檢測器,只能分析少數幾種氣體雜質,均不能很好的滿足硅烷氣體分析的基本要求。
    PDHID檢測器(脈沖放電氦離子檢測器)是一種靈敏度*的通用型檢測器,對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應,特別適合*氣體的分析,是*能夠檢測至ng/g(ppb)級的檢測器。 

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