這種流量計通過測量氣體通過層流器(LFE)產生的壓降來測量氣體流量。 因為層流器已經將氣流分層，因此無需在流量計上再使用逆流或順流直管，簡化了流量計的安裝過程。 同熱質量技術相比，LFE設計具有超短的反應時間（10毫秒以內），可直接使用而無需預熱等待。

高精度，多用途的層流式質量流量計

■ 精度可達讀數的 ±0.8%, 滿量程的±0.2%;重現性為±0.2%
■ 可測量20種標準氣體-根據顯示可選
■ 流量在1 SCCM范圍內1%~100%可調節，zui大量程可達1000 SLPM
■ 具有NIST追蹤證書

這種流量計通過測量氣體通過層流器（LFE）產生的壓降來測量氣體流量。 因為層流器已經將氣流分層，因此無需在流量計上再使用逆流或順流直管，簡化了流量計的安裝過程。 同熱質量技術相比，LFE設計具有超短的反應時間（10毫秒以內），可直接使用而無需預熱等待。

使用顯示屏周邊環繞的連體鍵盤即可完成全部編程操作。 可通過0~5 VDC信號將流量值輸出到遠程顯示屏，記錄儀或用于調節閥門/泵的控制器上。

流量控制器具有積分PID功能，可以隨流量要求的變化而做出調節。 可使用鍵盤，可選的設定控制模塊，0~5號或RS-232輸入信號進行流速設定。  設定控制模塊訂購信息見下表。 訂購使用下表中的電池包，可實現流量計便攜式使用。

隨機配備： 廠商提供的NIST追蹤證書,120/230 VAC電源適配器，帶通訊線。

參數
zui大顆粒尺寸 1 LPM以內的型號： 20 µm  1 LPM ~1000 LPM的型號: 50 µm
精度: 讀數的±0.8%；±0.2% 滿量程
重現性： ±0.2%
反應時間  流量計： 10 msec 流量控制器： 50 msec
使用溫度: -10~50°C
zui大壓力: 10 bar
壓力降： 0.05~0.20 bar （流量計）
輸出信號: 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC
輸入信號: 0~5 VDC, RS-232, 0~10 VDC
浸潤部件   流量計： 302和303 SS, Viton®, 硅酮RTV,和玻璃強化尼龍，鋁  流量控制器： 302, 303 SS; Viton, 硅酮RTV, 玻璃強化尼龍, 鋁, 黃銅, 410 SS, 硅, 玻璃。