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GM-6工業測量顯微鏡
GM-6工業測量顯微鏡
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GM-6工業測量顯微鏡
測量顯微鏡廣泛應用于半導體,電子工業進行晶體，集成電路的檢驗和精確測量。配備有冷光源光纖反射照明，成像和觀察系統，偏光裝置。
● 無限遠光學系統,管鏡焦距200mm
● 鉸鏈式三目鏡筒,30°傾斜，瞳距55-75mm
● 高眼點、視場目鏡WF10X/22
● 五孔物鏡轉換器
● 長工作距離平場復消色差物鏡
Plan Apo 2X/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率5μm,
Plan Apo 5X/0.14 W.D. 45mm 分辨率2μm,
Plan Apo 10X/0.28 W.D. 34mm 分辨率1μm,
Plan Apo 20X/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率1μm
Plan Apo 50X/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm
● 調焦系統同軸粗微調焦機構,微動格值0.002mm
● 載物臺 6″x8″雙層活動平臺,移動行程153x204mm
● 三維測量系統
分辨率： 1μm
測量精度: ±（2+L/200）μm
重復定位精度: 2μm
照明系統
● 冷光源光纖反射照明器：12V150W，特別明亮清晰
● 選配：
完善和全面的測量軟件
--------完整的幾何量測（如:點,線,圓,弧,角度等）
--------坐標系的設定，擺正,旋轉
--------顯示方式多樣化；語言的轉換，公英制單位的轉換,角度的轉換
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