產品展示

渦輪分子泵HiPace 1200-2300 系列

公司名稱：
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生產地址：
瀏覽次數：

上海春粟自動化科技有限公司
2023-03-13 14:25:03
上海市
1417

【簡單介紹】

普發分子泵 HiPace 1200-2300系列渦輪分子泵可以倒裝安裝，經過實踐證明的軸承技術確保了其的可靠性。成熟精湛的轉子設計使其具有更出色的抽速，更好的前級泵兼容性和更大的氣流量，對于小分子氣體具有更高的壓縮比。集成可靠的智能傳感器系統，HiPace系統當仁不讓的成為市場上安全性能非常好的產品。

【詳細說明】

普發分子泵產品優勢：

從1000-2000L/S提供四個抽速等級

對于小分子量氣體（H2 He），和大分子量氣體（Ar、CF4）都有很高的抽速

即便對大分子量氣體（Ar，CF4)也有很高的氣流量

安裝角度可選0°-90°和90°-180°

有抗腐蝕性氣體型號可選（C型號）

帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統

電壓范圍：90-265V

界面接口：RS-485，遠程控制；Profibus和DeviceNet可選

獲得SEMI S2，UL,CSA和TUV認證

防護等級IP54符合工業環境應用要求

最大可能的符合各種工藝流程，能夠忍受顆粒物

普發分子泵應用領域：

半導體

真空爐

質樸分析

鍍膜、研發

工業檢漏

普發分子泵系列型號：

HiPace1200

HiPace ¹⁵⁰⁰
HiPace ¹⁸⁰⁰
HiPace ²³⁰⁰


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