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復合分子泵TG-F系列

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  • 2024年12月24日
  • 2025年12月24日
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【產品簡介】

OSAKA大阪真空 渦輪分子泵由多層轉子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉方向的關系 氣體分子從高真空側進入泵內,附著于轉子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉,分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時,從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉子葉片碰撞再次飛到下一層。


【詳細說明】

渦輪分子泵由多層轉子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉方向的關系 氣體分子從高真空側進入泵內,附著于轉子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉,分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。

渦輪分子泵(復合分子泵)的排氣原理

渦輪分子泵由多層轉子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉方向的關系 氣體分子從高真空側進入泵內,附著于轉子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉,分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時,從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是,上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度,而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域,渦輪分子泵是通過該轉子葉片和定子葉片發揮基本性能。

本公司在轉子葉片和定子葉片組合基礎上增加了“螺紋槽"構造。被壓縮到圓筒狀的旋轉部(轉子)的壁面的氣體分子,最終沿著固定部分(定子)的螺紋槽,移到泵的排氣口一側。 由于螺紋槽的作用,渦輪分子泵(復合分子泵)不僅在分子流域,在粘滯流也能排氣,尤其在粘滯流時可以大流量排氣。 因此,渦輪分子泵的適用壓力范圍被擴展,得到了很多用途的廣泛應用。此外,由于可以在高背壓下運轉,也有可能使用更小的、壓力更高的輔助泵。


無油的超真空環境

?機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同

?可排稀有氣體和腐蝕性氣體

?可連續排大流量氣體

?可工作的壓力范圍寬。 (~10-10Pa).

復合分子泵TG-F系列

使用了脂潤滑陶瓷軸承,實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動,耐沖擊能力強,可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部,拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產品。


  • 多方位安裝

  • 輕巧設計

  • 節能

  • 迅速啟動

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強

  • 多種通信模式

  • 符合安全規格NRTL/SEMI-S2/CE

    產品規格:

  • 復合分子泵TG-F系列

    產品尺寸圖:

  • 復合分子泵TG-F系列



    
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