瑞士VAT閥07.7 大型真空傳輸門插件與L-VAT
在所有條件下均可靠 07.7 大型真空傳輸門插件與L-VAT為真空閘門設(shè)定了新標準。該閘 門旨在優(yōu)化性能的三個關(guān)鍵方面：(1) 粒子排放保護，(2) 快速且可調(diào)節(jié)的循環(huán)周期以及 (3) 正常運行時間長，維 護工作快速且輕松。 在要求苛刻的應(yīng)用中和不斷變化的工藝條件下，凸顯出性能特性。
07.7 傳輸門插件的設(shè)計專注于出色的粒子性能。該閘門在打開 和關(guān)閉時執(zhí)行 L 型運動。閥門中每個有粒子釋放風險的部分均經(jīng)過單獨封裝。比如，兩側(cè)的門導板采用聚四氟乙烯波 紋管封裝，壓梁的緊壓部件采用焊接金屬波紋管封裝，電纜 托架采用符合 IPA 潔凈室 1 級規(guī)范的聚四氟乙烯罩封裝。
短暫且可調(diào)節(jié)的循環(huán)周期
即使打開和關(guān)閉的周期很短，也能讓閥門平滑地關(guān)閉，這是 07.7 傳輸門的重要特征。氣動驅(qū)動器的阻尼機構(gòu)可 調(diào)整，以匹配不同的周速。這意味著 07.7 傳輸門能在關(guān)閉期間最大限度地減少沖擊，降低生成粒子的風險。此 外，側(cè)導板可確保閘門平滑地運動，以將振動幅度降至低。磁性位置指示器 (MPI) 用于指示閘門位置，以準確顯 示垂直位置和水平位置。07.7 傳輸門具有高性能大氣 閘門所需的一切特性。
正常運行時間長，維護量少，可輕松維護 維護停機時間不僅令人煩惱，還會增加本可 避免的成本，并且降低產(chǎn)量。07.7 傳輸門通過減少維護停機的時長和頻率，最大限度地 增加正常運行時間。簡化的閥板更換流程和 可輕松觸及的緊壓部件，僅這兩項設(shè)計特征 便可大幅減少維護工作。 此外，可根據(jù)工藝要求調(diào)節(jié)密封壓力，比如在 使用其他密封材料時進行調(diào)節(jié)。此外，集成墊 片可防止閥板密封件超壓，減少 O 型圈磨損 并通過延長免維護周期提高可用性。 07.7 大型真空傳輸門插件與L-VAT 的主要特點 所有可能排放粒子的部件均已封裝 執(zhí)行 L 型運動 – 平滑且振動最少 垂直和水平位置的磁性位置指示器 優(yōu)勢: 出色的粒子排放保護性能 短暫且可調(diào)節(jié)的循環(huán)周期 正常運行時間長，維護量少，可輕松維護 技術(shù)數(shù)據(jù) 尺寸
客戶 確認
驅(qū)動器
氣動 雙作用
饋通件
軸饋通件
泄漏率
氟橡膠閘封
< 1 × 10-7 mbar ls-1 閥板可承受壓差
關(guān)閉方向
≤ 1 bar 開啟方向 ≤ 5 mbar 打開時可承受壓差
≤ 5 mbar 首維護前開關(guān)次數(shù)
100 萬次（在未加熱且清潔的條件下）
溫度
閥板處
≤ 60 °C 氣動驅(qū)動器
≤ 80 °C 電磁閥
≤ 50 °C 打開/關(guān)閉時間（標準版本）
開啟高度≤ 250 mm < 3 s / < 3 s 開啟高度 > 250 mm 視尺寸而定 材料
鋁閥板
EN AW-5083 硬質(zhì)陽極氧化鋁（可選）
EN AW-5083 不銹鋼閥板（可選）
AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4404) 側(cè)導板（軸）
100 Cr6 (1.3505)、硬鍍鉻型
密封
閥板
氟橡膠
驅(qū)動器、壓板
丁腈橡膠和氟橡膠
安裝位置
驅(qū)動器朝下（可選：向上/側(cè)向）
電磁閥
五/三向、靜態(tài)信號
位置指示器：觸點額定值（PNP 類型）
電壓
10 – 30 VDC 電流 ≤ 200 mA 響應(yīng)時間
≤ 0.1 毫秒 安全等級
IP 67 閥門位置指示
視覺（機械）
瑞士VAT閥07.7 大型真空傳輸門插件與L-VAT
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