濕法清洗設備配套用水溶臭氧濃度檢測儀是一款創新的水中臭氧分析儀器，基于不同波長光對臭氧吸收不同的原理設計，采用雙光路采樣感應技術及半導體級別接觸材料，實時在線檢測臭氧水溶濃度。儀器采用反射測量腔體，數據穩定準確、使用壽命長，無論是半導體清洗還是臭氧水的殺菌領域均可使用，應用市場廣泛。

應用領域

本儀器主要應用于超純水系統、制藥業、半導體濕法清洗及其他工業處理領域，為水中臭氧濃度儀器的創新開發。

濕法清洗設備配套用水溶臭氧濃度檢測儀產品特點
① 無移動部件，直線型設計，便于安裝操作；

② 半導體級別接觸材料設計；

③ 采用自動控制系統；

④ 維護周期長；

⑤ 采用雙光路取樣傳感技術及反射測量腔室，開創了水中臭氧濃度檢測的新技術；

⑥ 精度高，數值波動小；

⑦ 零點穩定，可手動校準修正。

技術參數
量    程：0-150mg/L（ppm）
精    度：1.5%F.S
重 復 性：1%F.S

零 漂 移：1%F.S/月
響應時間：2秒到95%

流    量：0-75L/min

耐    壓：max5.0bar
模擬輸出：4-20mA

串口通訊：RS232，波特率9600bps

電源輸入：24V

接    口：3/4″Flaretek

接液材料：耐臭氧，與半導體制程兼容

吹 掃 口：G1/8

工作溫度：5～40℃

尺    寸：210*60*60mm
重    量：1kg