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探針式臺階儀的功能及應用
閱讀：2530 發布時間：2020-5-9探針式臺階儀的功能及應用
探針式輪廓儀（臺階儀）主要用于材料的結構及表面解析，在微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫療、科學研究和材料科學領域大顯身手。
同時按照應用的領域不同，要求不同，臺階儀的型號也多種多樣，下面以我們優尼康提供的一款型號為P-17的臺階儀為例，簡單介紹下這款儀器的功能以及應用，以供大家參考了解臺階儀可以做什么，有哪些功能，該型號為常用款，如有更高需求也可以咨詢我們，會為大家更合適的機臺。
主要功能有：
·臺階高度：幾納米至1000μm
·微力恒力控制：0.03至50mg
·樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
·視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
·圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
·軟件：簡單易用的軟件界面
·生產能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化
主要應用：
·臺階高度：2D和3D臺階高度
·紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
·形狀：2D和3D翹曲和形狀
·應力：2D和3D薄膜應力
·缺陷復檢：2D和3D缺陷表面形貌
工業應用
·大學、研究實驗室和研究所
·半導體和化合物半導體
·LED：發光二極管
·太陽能
·MEMS：微機電系統
·數據存儲
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·醫療設備
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