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　　等離子清洗機(jī)真空泵由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔休、機(jī)械等幾個部分組成，可以根據(jù)客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統(tǒng)，真空室。等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、活化和表面準(zhǔn)備等。等離子清洗機(jī)真空泵可選擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器，以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。

　　主要特點:

　　1.半導(dǎo)體工業(yè)用真空泵和系統(tǒng).

　　2.科研儀器,真空加工用途真空泵和系統(tǒng).

　　3.排氣控制.污水處理系統(tǒng),氣體處理系統(tǒng).

　　儀器介紹:

　　1.半導(dǎo)體工業(yè)用真空泵和系統(tǒng).

　　2.科研儀器,真空加工用途真空泵和系統(tǒng).

　　3.排氣控制.污水處理系統(tǒng),氣體處理系統(tǒng).

　　4.油封旋葉泵.

　　廣泛應(yīng)用于表面去油及清洗等離子刻蝕，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序，因此又應(yīng)用于汽車電子領(lǐng)域、*電子領(lǐng)域、PCB制成行業(yè)等高精密度領(lǐng)域。

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