APTECH調(diào)壓閥
產(chǎn)品型號:AZ1015S 2PW FV4 FV4 關(guān)鍵字:APTECH調(diào)壓閥AZ1000 關(guān)鍵字描述:SS 316L結(jié)構(gòu),清洗,組裝和包裝用于高純度半導體應用。 產(chǎn)品介紹: SS 316L結(jié)構(gòu) 10 µin.表面處理(25 µin.可選) 真空至3500 psig(241 bar)入口 1至300 psig(0.07至21 bar)出口 清洗,組裝和包裝用于高純度半導體應用 流量 -標準至30 slpm -HF選項為120 slpm 使用點應用的 調(diào)節(jié)器 旋鈕LOTO 參數(shù): 傳輸壓力:5至150 psig(0.34至10 bar) 耐壓:工作壓力的150% 爆破壓力:工作壓力的300% 流量系數(shù)(Cv):0.09(可選0.15 HF) 內(nèi)部容積:0.49 in3(8 cm3) 端口:2口對接焊 閥體,噴嘴:SS 316L 隔膜:SS 316L 涂層:電拋光和鈍化 閥座:PCTFE(可選聚酰亞胺和PTFE) 入口/出口連接:1/4英寸面密封,母接頭 舷內(nèi)泄漏:2 x 10-10 sccs 舷外泄漏:2 x 10-9 sccs He 座椅泄漏:4 x 10-8 sccs 安裝面或面板(可選) 工作溫度:-40°至+ 160°F(-40°至+ 71°C)