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高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置研究
差壓PILZ變送器因其設計*、安裝簡便、品種齊全等特點被廣泛應用于各個行業。而且差壓PILZ變送器的工作場合一般都存在靜壓，對其性能有一定程度的影響，因此檢定規程JJG882-2004《壓力PILZ變送器檢定規程》特別對差壓PILZ變送器在高靜壓下的差壓檢定進行了補充規定，規定要求“強制檢定的差壓PILZ變送器，檢定時的靜態工作壓力應保持在工作壓力狀態”。

高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置研究
壓阻式傳感器利用半導體材料的壓阻效應來進行壓力測量。因為具有體積小、重量輕、分辨率高等*優點,在備行業得到了廣泛應用。但由于半導體材料的固有特性,壓阻式傳感器普遍存在著如下幾方面的問題:*性問題:由于工藝的關系,即使同一批生產的傳感器,其特性也會有比較大的離散性。為了保證足夠的精度,必須對每個傳感器進行校準。溫漂問題:半導體材料對于溫度變化很敏感,因此溫漂問題在壓阻式傳感器中尤其顯得突出。實際應用中,必須采取一定措施,對傳感器的溫度漂移進行補償。針對這一情況，設計研發了一種新型的高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置。分析對比了國內外高靜壓檢測裝置的發展現狀，以金屬電容式差壓PILZ變送器為例介紹了引起靜壓影響的原因，并通過對以往同類裝置的分析提出了本裝置的設計方案。然后對檢測裝置的氣壓箱體設計、界面設計以及硬件結構等進行了介紹，根據高靜壓條件下差壓PILZ變送器的檢定要求，開發了相應的下位機控制系統和上位機檢定系統。下位機控制系統以PLC為核心，通過電氣元件之間的連接可以實現對步進電機、閥門、真空泵的控制，以及傳感器模擬量和行程開關信號的讀取；上位機檢定系統使用LabVIEW來編寫系統界面，可實現參數設置、檢定監控、數據管理等功能。經測試，高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置具有良好的檢定性能，與之匹配高靜壓差壓PILZ變送器檢定系統人機界面友好。在靜壓0~4MPa條件下，差壓PILZ變送器的重復性都在0.2%以內，擴展不確定度均小于1/4MPEV，而且該高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置與標準裝置比對結果良好，即利用高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置來檢測差壓PILZ變送器的途徑實際可行。

高靜壓差壓PILZ變送器檢測裝置研究
zui后對裝置的靜壓誤差進行修正，為減少靜壓帶來的誤差影響提供了一條新的思路。目前，該裝置已經投入使用，運行狀況良好，可以實現對靜壓(0~4)MPa、差壓(0~400)kPa的差壓PILZ變送器的快速檢定。