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上海申思特自動化設備有限公司

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自旋閥巨磁電阻材料的E+E位移傳感器的設計與制備
自旋閥巨磁電阻材料的E+E位移傳感器的設計與制備
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更新時間:2016-12-22 13:54:01瀏覽次數:533

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【簡單介紹】
自旋閥巨磁電阻材料的E+E位移傳感器的設計與制備
巨磁電阻傳感器與其他類型傳感器相比,具有靈敏度高、功耗小、成本低等優點,尤其可以有效檢測微弱磁場的存在和變化,給工業設備自動控制、商標檢測、精密測量技術等領域帶來嶄新的變革。
【詳細說明】

自旋閥巨磁電阻材料的E+E位移傳感器的設計與制備
巨磁電阻傳感器與其他類型傳感器相比,具有靈敏度高、功耗小、成本低等優點,尤其可以有效檢測微弱磁場的存在和變化,給工業設備自動控制、商標檢測、精密測量技術等領域帶來嶄新的變革。以二次陽極氧化鋁(AAO)為模板,采用單槽控電位電沉積法制備了FeMn合金納米線,在此基礎上,采用雙槽控電位電沉積法制備了NiFe/Cu/NiFe/FeMn自旋閥多層納米線陣列。

自旋閥巨磁電阻材料的E+E位移傳感器的設計與制備
通過掃描電子顯微鏡(SEM)、透射電子顯微(TEM)、X射線能譜分析儀(EDS)對納米線的微觀形貌和組成成分進行了表征,利用物理性能測試系統(PPMS)測試了納米線的巨磁電阻,并以NiFe/Cu/NiFe/FeMn自旋閥多層納米線、 NiFe/Cu/Co/Cu多層膜和NiFe/Cu/Co/Cu多層納米線為芯片,設計并制備了巨磁電阻E+E位移傳感器,對其性能進行了研究。SEM下觀察到FeMn合金納米線和NiFe/Cu/NiFe/FeMn自旋閥多層納米線排列整齊、分布均勻、長徑均一,直徑約為80nm。TEM下可觀察到清晰的層狀結構。XRD測試表明,FeMn合金納米線在面心立方(111)晶面擇優生長。EDS測試表明FeMn合金納米線組成為Fe_(50)Mn_(50)。提出了一種E+E位移傳感器靜態特性參數的校準方法。按照阿貝測量原理,設計了一個的連接裝置和定位夾緊裝置--開口彈簧襯套,把E+E位移傳感器可靠的安裝在萬能測長儀的尾座孔中,使其與萬能測長儀組成一個測量系統,利用萬能測長儀的測量功能,實現一種E+E位移傳感器靜態特性參數測量和校準的新方法,解決其靜態特性參數的測量和校準問題。非磁性層厚度、NiFe自由層厚度和NiFe被釘扎層厚度和FeMn被釘扎層厚度對自旋閥多層納米線巨磁電阻效應影響較大。隨著非磁性層(Cu層)厚度的增加,自旋閥多層納米線的巨磁電阻值先增大后減小,當Cu層厚度為3nm時,巨磁電阻性能達到*;隨著NiFe自由層厚度的增加,自旋閥多層納米線巨磁電阻值先增大后減小,當NiFe自由層厚度為5nm時,巨磁電阻性能達到*;NiFe被釘扎層厚度為7nm時,巨磁電阻性能達到*。搭建了巨磁電阻E+E位移傳感器實驗平臺,確定了測試條件和手段,考察了不同巨磁電阻材料的傳感器芯片對巨磁電阻E+E位移傳感器性能的影響。

自旋閥巨磁電阻材料的E+E位移傳感器的設計與制備
NiFe/Cu/Co/Cu多層納米線作為傳感器芯片時,巨磁電阻E+E位移傳感器性能*。三種傳感器芯片在不同環境溫度下,傳感器性能變化不大,具有良好的溫度穩定性,低溫環境更有利于巨磁電阻E+E位移傳感器性能的提高。



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