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愛德華nXDS干式渦旋真空泵的結構特點和諸多優點受到廣泛贊譽,已被用于許多行業。干式渦旋真空泵以其轉動方式不同,分為兩種型式:一種是一個渦旋固定不動(稱為靜渦旋),另一個渦旋圍繞著它公轉平動而不能自轉(稱為動渦旋)的公轉型(Orbiting type);另一種是兩個渦旋同步同方向各自繞自身軸轉動的回轉型(Rotat ingtype)它的兩個渦旋都是動渦旋。真空泵是指利用機械的、物理的、化學的或物理化學的方法從被抽容器中抽吸空氣以獲得真空的裝置或設備。一般來說,真空泵是一種在封閉空間內采用各種方法來提高、產生和保持真空的裝置。
愛德華nXDS干式渦旋真空泵的應用范圍很廣,以下介紹它的一些應用領域:
1、半導體行業:薄膜制造設備、半導體器件封裝設備;
2、科學儀器行業:同步輻射束線機、電子顯微鏡、激光測試設備、分析測試設備;
3、機械設備行業:材料制備設備、真空檢測、材料凈化設備、高真空排氣設備;
4、醫療器械行業:牙科器械、透析機、生物制劑和藥物制劑;
5、包裝行業:食品、醫藥、生物制品包裝設備等領域。
在科學儀器配套使用中,愛德華nXDS干式渦旋真空泵一般以下應用場景中使用:清潔泵送應用,電子掃描顯微鏡-SEM,射束線和高能物理,前級渦輪泵,覆層,低溫學,脫氣/硫化-油,環氧樹脂,蒸餾/萃取/過濾,冷凍干燥,熔爐,凝膠體干燥,實驗室工作臺上真空,激光、氣體回收和再循環,氦檢漏儀,負載鎖和傳輸腔,稀有氣體再循環,稀有氣體回收,冷凍制造,研發,旋轉離心蒸發器,SEM/FIB(離子束維修),溶劑回收,表面科學儀器等。
nXDS渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統的必要配置。可以作為前級泵與主泵配合使用,營造更理想的真空環境,獲得良好的無油真空系統,也可根據其特點和實際應用單獨使用。
渦旋真空泵是近年來國內外備受關注并得到迅速發展的一種真空泵,具有抽氣通道無油污染、泵結構簡單、運行成本低、工作壽命長、能耗低、運行平穩、噪音低等特點,受到了行業和市場的歡迎,其在設計和制造方面的高技術含量也受到了國內外科技界的廣泛關注。
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