BURKERT流量計565876采用MEMS技術，
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BURKERT質量流量計565876是采用感熱式測量，通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量，因為是用感熱式測量，所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果 。質量流量計是一個較為準確、快速、可靠、高效、穩定、靈活的流量測量儀表，在石油加工、化工等領域將得到更加廣泛的應用，相信將在推動流量測量上顯示出巨大的潛力。質量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質量流量控制器，是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分，還帶有一個電磁調節閥或者壓電閥，這樣質量流量控制本身構成一個閉環系統，用于控制流體的質量流量。質量流量控制器的設定值可以通過模擬電壓、模擬電流，或者計算機、PLC提供。

BURKERT質量流量計565876必要時可以設置為 MFC 或者 MFM，且規定用于 büS 或者 CANopen 網絡中。büS 網絡技術以 CAN 物理層為基礎，Bürkert 特別為涉及多個控制回路（通過工業以太網或者其他現場總線加以驅動）的應用而對其進行了研發。型號為 ME2X 的系統控制單元 (SCU, System Control Unit) 將客戶的以太網通信傳輸到所有者的 büS 中，并驅動所有相連的電子設備。 設備之間的通信可以在 büS 和 CANopen 之間切換。借此，8741 型也可以集成到現有的 CANopen 基礎設施中。 8741 型借助 MEMS 傳感器進行氣體質量流量的測量（用作 MFM）或者調節（作為 MFC）工作。傳感器直接接觸氣體，因而可以在幾百毫秒之內極其快速地做出反應。此外，測量工作不受壓力或者溫度波動的影響。可以對 MFC/MFM 進行校準，使其用于測量/調節兩種不同的氣體，用戶可以在這兩種氣體之間進行切換。

BURKERT質量流量計565876參數：

采用 MEMS 技術直接測量流量

測量和重復精度高

反應時間非常之短

現場總線通信基于 CANopen