目錄:上海昊量光電設備有限公司>>激光測量設備>>光束分析儀>> 通用光學測量儀 波前/傾角/輪廓測量三合一
產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 綜合 |
通用光學測量儀——波前/傾角/輪廓測量三合一
昊量光電新推出一款非常通用的光學測量儀器,結合了高動態范圍波前傳感與精密角度測量和電子自動準直功能,內置寬帶光源,通用光學測量儀可以用來表征光學表面,測量光束輪廓,AOI和發散角,跟蹤漂移焦點等。表征光束功能幾乎適用于所有類型的光源,這些光源可以是窄帶和高度相干的,如激光,也可以是寬帶的,如LED或白光光源。此外,光源也可以發散、準直或聚焦。這款通用光學測量儀器以空間分辨率確定絕對相移,從而實現高動態范圍,通光孔徑48mm。
通用光學測量儀 波前/傾角/輪廓測量三合一應用領域:
自適應光學器件(反射鏡和透鏡)的監測和控制
測量平面鏡和非平面鏡的形狀 (PV) 和表面粗糙度
測量光學透鏡的形狀和成像質量
測量軸承的同心度(擺動測量)
X 軸和 Y 軸光束自動對準
檢查和調整光學測試裝置中的光路
高分辨率光學波前測量
測量表面照射的均勻性
測量半導體晶片的變形
測量激光、LED 和白光光源的光束形狀和光束質量
處方鏡片和隱形眼鏡的鑒定
通用光學測量儀 波前/傾角/輪廓測量三合一功能與特點:
提供出色的用戶界面(與 Windows 和 MacOS 兼容)
具有高動態范圍、Zernike 分解、殘余誤差、角度傾斜和光束輪廓的二維和三維波面圖
運動透鏡蓋中的可拆卸參考鏡可隨時進行自檢(審計模式),以便進行功能控制
大輸入孔徑,用于測量光束和反射面,無需額外的聚束器/擴束器
交互式繪圖工具,具有實時點跟蹤功能和用戶可選的色標
內部光源控制功能
所有操作參數(增益、波長等)的輸入功能
幾乎所有功能的長期功能
實時測量記錄功能,以便日后進行離線分析
移動使用時的溫度補償
體積小巧,可存放在手提箱中,便于遠程檢測和運輸
用于 OEM 集成的 API(通過 Python、C++、Matlab 實現 gRPC)
通用光學測量儀標準規格和配置:
QOQ-025-0550-075 | QOQ-048-0550-075 | QOQ-100-0550-075 | units | |
光學規格 | ||||
通光孔徑 | 25 | 48 | 100 | mm |
集成光源 | LED, RG1 (Low risk group) per IEC-62471:2006 | |||
集成光源波長 | 550 | nm | ||
掩膜點間距 | 350 | 500 | 500 | µm |
掩膜通光孔徑 | 200 | 250 | 250 | µm |
掩膜EFL | 75 | 75 | 75 | mm |
有效掩膜孔徑 | 6568 | 7668 | 7668 | |
蕞小光束直徑 | 3 | 3 | 5 | mm |
傳感器規格 | ||||
探測范圍 | 400 - 750 | 400 - 750 | 400 - 750 | nm |
分辨率 | 4024 x 3036 | 5472 x 3648 | 5472 x 3648 | pix |
像素間距 | 1.85 | 2.4 | 2.4 | µm |
位深 | 8 Bit | 8 Bit | 8 Bit | |
測量規格 | ||||
蕞大傾角 | > 4 | > 6 | > 8 | deg |
傾角精度 | < 0.5 | < 1 | < 1 | arcsec |
傾角分辨率 | < 0.25 | < 0.5 | < 0.5 | arcsec |
波前精度 (RMS) | 25 | 30 | 50 | nm |
波前靈敏度(RMS) | 10 | 15 | 25 | nm |
波前動態范圍 | > 1 | > 1.5 | > 2 | mm |
通用光學測量儀終端應用
測量能力 | 一般實驗室用途 | 光學元件制造 | 光學儀器 | 航天 | 半導體晶圓 | 醫學設備 | 天文學 |
反射鏡/ 透鏡表面面形 | • | • | • | • | • | • | • |
光學波前誤差 | • | • | • | • | • | • | • |
光束指向角 | • | • | • | • | • | • | • |
軸承跳動/擺動 | • | • | • | • | • | • | • |
表面平整度/面形 | • | • | • | ||||
光學鍍膜吸收 | • | • | • | • | |||
自適應光學控制 | • | • | • | • | • | • | |
自動光學對準 | • | • | • | • | |||
透射波前誤差 | • | • | • | • | • | ||
瞄準線誤差 | • | • | • | • | • | • | |
矯正鏡片測試 | • | • | |||||
焦平面翹曲/傾斜 | • | • | • | • | • | • | • |
瞬態光學記錄 | • | • | • | • | • | • | |
衍射光學特性 | • | • | • | • |
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