• 美國派克PARKER派克超高純貼面安裝隔膜閥產品概覽：

• 派克SM90系列貼面安裝不銹鋼閥體隔膜閥(1-1/8和 1-1/2閥體尺寸) 提供優異的泄露完整性、高循環壽命和低粒子生成，使其UHP超高純半導體應用的理想選擇 (1-1/8 and 1-1/2 inch body sizes) 。

  
  SM930系列與工藝流體接觸部分無螺紋或彈簧，大限度地減少粒子生成和氣體截留，減少對半導體應用至關重要的過程污染。閥門的嚴格設計控制閥座和膜片應力，提供穩定和無需維護使用壽命。SM930系列接液部件由特殊金屬制備，提供優異的耐腐蝕性和泄露完整性。閥體為內部電解拋光Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克的UHP超高純級不銹鋼。隔膜材料為高強度鈷基合金。SM930系列同時提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 閥座材料，允許SM930與多種工藝流體兼容。這些材料由SM955系列嚴格設計組成，使SM930系列具有強耐腐蝕性和更高循環壽命，入口壓力高達250 psig.
  
  SM930系列氣動閥可配套限位開關或接近開關提供開-關位置指示。也有多種閥體結構，包括930Y（Y閥）和930（面密封和短管接口）.
  
  SM930系列閥門的內部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質譜儀達到在苛刻超高純應用中的性能和穩定性.
  
  市場:
  • 半導體
  • 分析試驗室
  • 制藥
  • 生物制藥
  • 航空航天
  • 工業
  
  特點/優勢:
  • 有C和W密封貼面安裝1-1/8

  和1-1/2

  閥體尺寸
  • 5微英寸(Ra粗糙度)電拋光表面處理
  • 高循環壽命(包括腐蝕性工礦)
  • 內部無彈簧無螺紋，大限度地減少粒子生成和氣體截留
  • 壓力范圍：真空到250 psig
  • 內漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He
  • 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
  • 常規氣動動作壓力75 psig
  
  應用:
  • 腐蝕性和特殊氣體
  • 半導體工具
  • 工具掛鉤
  • 氣體柜
  • 閥組箱 (VMB)
  
  
  VeriClean™是派克漢尼汾公司商標
  Vespel® 是杜邦杜邦高性能彈性體公司注冊商標
  PEEK™ 是威格斯公司商標

美國派克PARKER派克超高純貼面安裝隔膜閥技術規格：

性能特點

閥體材料                                         潔凈316L不銹鋼

隔膜材料                                         埃爾吉洛伊非磁性合金，等價

閥座材料                                         PCTFE (標準), PEEK, Vespel

帽材料                                            17-4不銹鋼

螺母材料                                         316L不銹鋼

爆破壓力                                         375 psig (26 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G)

                                                     750 psig (52 barg) (I, K, M)

可承受壓力                                     188 psig (13 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G)

                                                     375 psig (26 barg) (I, K, M)

流速                                                Cv 0.25 (低壓)

                                                     Cv 0.20 (手動1/4圈)

內部泄漏率                                     < 1 x 10-9 標準立方厘米/秒 He

外部泄漏率                                     < 2 x 10-10 scc/sec He

表面處理                                         5微英寸粗糙度或更少

大入口額定壓力                            125 psig (8.6 barg) (低壓常閉, 低壓常開, 低壓1常閉, G)

                                                     250 psig (17 barg) (I, K, M)

小入口額定壓力                             真空

啟動壓力                                          75 psig (5 barg) 標稱

烘烤溫度                                          in the open position: 250 °F

                                                      121°C 在開啟位置 °C

z高運行溫度                                   66 °C

                                                      150 °F

低運行溫度                                    -40 °C

                                                       -40 °F

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