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日本FUJI-US富士工業品多組分濃度計 FUD-1 Model-53
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  • 日本FUJI-US富士工業品多組分濃度計 FUD-1 Model-53

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貨物所在地: 山東青島市
地: 日本
更新時間: 2024-12-30 08:51:01
期: 2024年12月30日--2025年4月1日
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產品簡介

日本FUJI-US富士工業品多組分濃度計 FUD-1 Model-53

詳細介紹

日本FUJI-US富士工業品多組分濃度計 FUD-1 Model-53

FUD-1 Model-53 的優點(如可維護性和高精度在線測量)保持不變,是半導體制造工藝的小型單元型發射器。

多組分濃度計的特點

實時3成分中2成分濃度計側

  • 標配模擬 DC4~20mA(2 系統)及數字 RS232C

  • 標配測量錯誤輸出和報警輸出

  • 標配自診斷功能和錯誤消息顯示

  • 小型、輕質單元式發射器可直接安裝在生產線上

  • 采用PFA的接液部件質、小輸出設計對藥液沒有影響


優勢

  • 可實現高精度的連續測量

  • 無需定期調整和校準,免維護

  • 無需安裝時進行各種調整等,安裝也容易

  • 通過實時輸出輕松反饋流程


用途

  • CMP工序中CMP漿料及氧化劑濃度管理等

  • 清洗過程中的清洗液濃度管理等(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)

  • 蝕刻過程中的蝕刻液濃度管理等(TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等)




規格

類型表達式FUD-1 Model-53
轉換器
測量參數超聲波傳播速率、溫度和電導率
顯示LCD(濃度 1、濃度 2、溫度、聲速、電導率/各種參數)
輸出信號模擬 DC4~20mA:2系統(可根據濃度值自由設定)
數字RS232C(濃度1、濃度2、聲速、溫度、電導率、錯誤代碼)
警報 上、下限 測量異常:2系統
電源AC100V 至 240V 50/60Hz 30VA(也可使用 DC24V)
結構面板安裝類型(符合 DIN 標準)
環境溫度轉換器0~50℃
RH85% 或更少(無冷凝)
功能輸出范圍設定功能、警報輸出設定功能、濃度顯示移動平均功能、濃度顯示偏移及增益設定功能、自診斷功能、故障安全功能、異常值消除功能、溫度時間常數校正
選項溫度輸出(DC4~20mA)
RS485輸出(無法與RS232C同時輸出)
通道(校準曲線)高達 7 通道
兼容發射器示例SA-20S29+電導率計、SA-20S27+電導率計



類型表達式發射器
SA-20S29+電導率計
SA-20S27+電導率計
振動元件 PZT(2MHz)x1PZT(2MHz)x2
測量元件熱敏電阻熱敏電阻
測量液體溫度 0~100℃ 0~80℃
結構流式細胞流式細胞
液體接觸材料PFA/PFA 涂層 PFA
管接頭3/4 配件(可更改)3/4 配件(可更改)
耐壓 0.3MPa 0.3MPa
 流量5 升/分鐘(推薦)5 升/分鐘(推薦)
 重量 2.5kg 2.5kg
電纜專用電纜 6m專用電纜 6m
環境溫度 5~45℃ 5~45℃


ASHAHISEIKOEG01-55-1MR
RIONVP-51A
UNIPULSEWLI-P330
SAMAZUMEFHC-30SN
HAKKOA1573
SOLAR#205
SANKEITA35T
SANKEIAS8-9
SANKEICPU12-F-SPUS
ACCRETECHDM45502
OJIDENOFL-2Y-SM2C
KODAIRAYBA-7


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