PLUTO-160等離子體表面處理儀/清洗機產(chǎn)品特點:
• 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統(tǒng),具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復性
• 靈活的電極結構設置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案,確保大批量處理的均勻性
• PLC與工控機提供穩(wěn)定的過程控制,設備運行的實時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)
• 系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,易于保養(yǎng)與維護
標準腔體電極為平行板電極結構,通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果
最多支持擴展至8片電極
每對電極間為獨立空間
批處理電極改變了標準的平行板電極結構
通過優(yōu)化的電場和進氣設計實現(xiàn)對magazi和boat等載具內(nèi)產(chǎn)品的均勻處理。
PLUTO-160等離子體表面處理儀/清洗機應用:
• 表面清潔與活化
• 表面有機污染物與金屬氧化物的去除
• 增強表面膠體流動性,消除涂層分層
• 提升表面能,實現(xiàn)難粘材料的有效結合
• 表面粗化及微刻蝕
• 納米級表面粗化,應力釋放
• 光刻膠、殘膠的去除
• 對多種材料的選擇性刻蝕